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J-GLOBAL ID：201802255133276678   整理番号：18A1894495

製造公差を考慮した双安定力/加速度センシングデバイスの設計と実装【JST・京大機械翻訳】

Design and Implementation of a Bistable Force/Acceleration Sensing Device Considering Fabrication Tolerances

著者 (3件)： Benjamin Erez (School of Mechanical Engineering, Tel Aviv University, Tel Aviv, Israel) ,  Lulinsky Stella (School of Mechanical Engineering, Tel Aviv University, Tel Aviv, Israel) ,  Krylov Slava (School of Mechanical Engineering, Tel Aviv University, Tel Aviv, Israel)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 27  号： 5  ページ： 854-865  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 平行平板静電変換器で動作する双安定アクチュエータの設計方法論,製作,および特性化について報告した。分岐ベースの無接触力/加速度センサとして役立つ装置の動作原理は,プルイン電圧監視に基づいている。双安定性は,柔軟な懸濁液として使用される直線化された曲がった梁の硬化非線形性と梁に沿って指向された静電力の軟化非線形性の間の相互作用のために現れる。設計段階におけるパラメータの注意深いマッピングにより,製作公差に対するデバイス感度の低下が生じ,センサの機能性に必要な双安定性を確保することができた。深い反応性イオンエッチングを用いて絶縁体基板上のシリコンから素子を作製し,双安定性を実験的に実証した。加速度を静電気力を用いてエミュレーションし,0.173V/gの感度を実験に登録した。実験結果とモデル予測の間の良好な一致が観察された。[2018-0031]Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アクチュエータ ,  変換器 ,  梁 ,  *公差 ,  *検出器 ,  懸濁液 ,  ケイ素 ,  *双安定性 ,  *加速度 ,  キャラクタリゼーション ,  エミュレーション ,  センサ ,  相互作用 ,  非線形性
準シソーラス用語： 静電気力 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 公差 ,  双安定 ,  加速度 ,  センシングデバイス ,  設計 ,  実装