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J-GLOBAL ID：201802255951551492   整理番号：18A1127639

X-Z駆動機構を用いたインチワーム式ピエゾステージの開発

The Design and Development of Inch Worm Type Micro Positioning Stage with X-Z Moving Mechanism including Piezo Actuators

著者 (3件)： 堤博貴 (東京工高専) ,  上島雄高 (東京工高専) ,  上島雄高 (名古屋大)
資料名： マイクロメカトロニクス  (Micromechatronics)
巻： 62  号： 218  ページ： 23-30  発行年： 2018年06月15日 
JST資料番号： G0166B  ISSN： 1343-8565  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 精密位置決め装置やステージの駆動機構の一つとして,圧電アクチュエータを用いたインチワーム機構があり,これは,高精度・長ストローク動作を同時に実現でき,バックラッシュのない滑らかな動作を可能にする。しかし,従来のインチワーム機構の問題の1つは,ガイドレールに大きな負荷をかけることができないことである。この研究で提案された新しいインチワーム機構は,この問題を解決するために,8つの圧電素子を有するリニアボールガイドと4つのマイクロX-Z位置決めユニットを利用した。提案された機構の運動特性は,様々な駆動電圧波パターンによって評価された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *位置決め装置 ,  *駆動機構 ,  バックラッシ ,  *圧電素子 ,  クランプ ,  *耐荷力 ,  三次元
準シソーラス用語： *インチワーム ,  ガイドレール ,  シャクトリムシ ,  *ステージ ,  スライダ ,  *リニアガイド ,  圧電アクチュエータ ,  駆動電圧 ,  精密位置決め ,  電圧波形

分類 (1件)： 運動機構  (QB01080K)

引用文献 (10件)：

• 1) 大塚二郎,坂戸啓一郎:精密位置決め機構設計,工業調査会,p. 196 (1996).
• 2) 内野研二:圧電/電歪アクチュエータ,森北出版,p. 86 (1986).
• 3) 丸文(株),Burleigh微小位置決めシステムカタログ,p. 31(1992).
• 4) 古谷克司,樋口俊郎,山形豊,毛利尚武:インパクト駆動機構の潤滑面上における移動特性,精密工学会誌, Vol. 61, No. 3, pp. 401-405 (1995).
• 5) 樋口俊郎, 山形豊:圧電素子の急速変形を利用した超精密位置決め機構(第2報), 精密工学会誌, Vol. 58, No. 10, pp. 1759-1764(1992).

タイトルに関連する用語 (2件)： インチワーム ,  開発