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J-GLOBAL ID：201802256199992163   整理番号：18A1905080

発光分光法による低圧マイクロ波駆動マイクロアルゴンプラズマにおける共鳴および準安定密度の測定【JST・京大機械翻訳】

Measurement Of Resonant And Metastable Densities In A Low Pressure, Microwave Driven, Micro Argon Plasma By Optical Emission Spectroscopy

著者 (4件)： Hermanns Patrick (Institute of Electrical Engineering and Plasma Technology, Ruhr University Bochum, Bochum, 44801, Germany) ,  Hillebrand Bastian (Institute of Electrical Engineering and Plasma Technology, Ruhr University Bochum, Bochum, 44801, Germany) ,  Fiebrandt Marcel (Institute of Electrical Engineering and Plasma Technology, Ruhr University Bochum, Bochum, 44801, Germany) ,  Awakowicz Peter (Institute of Electrical Engineering and Plasma Technology, Ruhr University Bochum, Bochum, 44801, Germany)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICOPS  ページ： 1  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ電気機械システム(MEMS)は,現代の技術において広い範囲の応用を持っている。ナノ構造化センサは測定システムのマイクロメートルサイズ(ラボオンチップ)への収縮を可能にする。2.45GHzの周波数で駆動される低圧アルゴンプラズマ源を装備したマイクロ製作質量分析計を示した。アンテナは,ホウケイ酸ガラスと電気伝導性シリコンで囲まれた直径250μm,高さ300μmの円筒形プラズマ体積を生成する。それらの侵入性のために,技術的プラズマ,例えばLangmuirプローブの特性化のための多くの従来技術が失敗している。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Langmuir探針 ,  ナノ構造 ,  *プラズマ ,  *低圧 ,  アンテナ ,  ホウケイ酸ガラス ,  プラズマ源 ,  キャラクタリゼーション ,  MEMS ,  円筒 ,  センサ ,  *アルゴン ,  *マイクロ波 ,  周波数
準シソーラス用語： ラボオンチップ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 音声処理  (JE05000E) ,  NMR一般  (BM07041R) ,  符号理論  (ND02030R) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 発光分光法 ,  低圧 ,  マイクロ波 ,  共鳴