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J-GLOBAL ID：201802256235869012   整理番号：18A0407084

Cr,Co Metal/AZ4620BCBポリマ界面の化学状態と接着性の間の対応の調査【Powered by NICT】

Exploring the Correspondence Between Chemical States and Adhesion Property for Cr, Co Metal/AZ 4620, BCB Polymer Interface

著者 (5件)： Hsieh Yen-Hui (Department of Electrophysics, National Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan) ,  Huang Yen-Jun (Department of Electronics Engineering, National Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan) ,  Shih Jian-Yu (Department of Electronics Engineering, National Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan) ,  Leu Jihperng (Department of Materials Science and Engineering, National Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan) ,  Chen Kuan-Neng (Department of Electronics Engineering, National Chiao Tung University, Hsinchu, Taiwan)
資料名： IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology  (IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology)
巻： 8  号： 2  ページ： 195-201  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0590B  ISSN： 2156-3950  CODEN： ITCPC8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Co/polymerとCr/polymer界面の接着強度と化学的状態の間の関係を記述するために構築した。化学結合モデルに基づいて,接着強さは界面での金属-有機錯体によって支配されることを確認した。Cr/polymers界面では,金属-有機錯体の生成は,析出の際の金属原子の酸化,低[ベンゾシクロブテン(BCB)]への高(AZ 4620)酸素化重合体からの接着にほとんど変化をもたらさないで制限されている。一方,強い接着力を,ポリマ中のヒドロキシル基と関連した金属-有機結合から生じるCo/BCB界面で観察された。法は異種集積化の適切な組合せを探索のための他の金属-高分子界面への明確な分析を提供することが期待される。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 高分子 ,  化学結合 ,  接着強さ ,  酸素化 ,  金属 ,  *重合体 ,  ヒドロキシ基 ,  付着力 ,  錯体 ,  *界面
準シソーラス用語： *粘着性 ,  *化学状態 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 接続部品  (NA05050Z) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： Cr ,  CO ,  ポリマ ,  界面 ,  化学状態 ,  接着性 ,  調査