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J-GLOBAL ID：201802256282960057   整理番号：18A0813900

複合TiSiN/Ag/TiSiN多層被覆の破壊抵抗に及ぼす多重界面構造の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of multi-interfacial structure on fracture resistance of composite TiSiN/Ag/TiSiN multilayer coating

著者 (6件)： Dang Chaoqun (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China) ,  Dang Chaoqun (Department of Mechanical and Biomedical Engineering, City University of Hong Kong, 999077, Hong Kong Special Administrative Region) ,  Yao Yirong (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China) ,  Olugbade Temitope (Department of Mechanical and Biomedical Engineering, City University of Hong Kong, 999077, Hong Kong Special Administrative Region) ,  Li Jinlong (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China) ,  Wang Liping (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 653  ページ： 107-112  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 複合TiSiN/Ag/TiSiN多層コーティングを,マルチアークイオンめっきシステムによりTi6Al4V基板上に堆積した。この被覆はTiNバッファ層,TiSiN/Ag多層膜を有する特殊な構造を有し,TiSiN/Ag多層膜はTiSiN(45nm)とAg(12nm)の交互層を有し,TiSiN被覆中間層は1.7μmの全厚さに対して厚さ120nmであった。TiSiN層は,nc-TiN,nc-Agおよび非晶質Si_3N_4のナノ結晶/非晶質微細構造を有し,非晶質Si_3N_4は,ナノ結晶TiNおよびAg境界周辺に存在し,Ag層は,延性ナノ結晶銀から成った。複合TiSiN/Ag/TiSiN多層被覆のこの設計は,被覆の亀裂伝搬を効果的に妨げ,破壊抵抗を増加させることができることを示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 微細構造 ,  アモルファスシリコン ,  *被覆 ,  バッファ層 ,  ナノ結晶 ,  亀裂伝搬 ,  多層膜 ,  非晶質 ,  *破壊強さ ,  *銀
準シソーラス用語： 中間層 ,  窒化チタン ,  アークイオンプレーティング ,  *界面構造 ,  *多層コーティング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： TiSiN/Ag/TiSiN多層被覆 ,  多重界面構造 ,  マルチアークイオンめっき ,  破壊抵抗

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： Ag ,  多層被覆 ,  破壊抵抗 ,  多重 ,  界面構造