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J-GLOBAL ID：201802256303535038   整理番号：18A1319280

常圧百級清浄度環境におけるSiO2薄膜の安定性【JST・京大機械翻訳】

Stability of sol-gel silica coatings under ISO Class 5 atmosphere condition

著者 (9件)： Li Hao (中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900) ,  Bai Yang (中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900) ,  Yan Lianghong (中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900) ,  Yan Hongwei (中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900) ,  Li Heyang (中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900) ,  Yang Ke (中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900) ,  Liu Taixiang (中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900) ,  Wang Tao (中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900) ,  Yuan Xiaodong (中国工程物理研究院 激光聚変研究中心,四川 綿陽,621900)
資料名： Qiangjiguang yu Lizishu  (Qiangjiguang yu Lizishu)
巻： 30  号： 5  ページ： 20-25  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2482A  ISSN： 1001-4322  CODEN： QYLIEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 3つの異なる屈折率のSiO2ゾルを用いて,3種類のフィルムを,3つの異なる屈折率のSiO2ゾルで被覆し,そして,3種類のコロイド被覆の膜安定性を,光学理論によって計算した。SiO2薄膜は光学素子の透過率を著しく高めることができるが、膜層表面の大量の水酸基及びその多孔質構造のため、SiO2薄膜は周囲の環境中の有機汚染物及び水分充填膜層の孔隙を吸着しやすい。実験結果は,3種類のゾルゲル化学膜の有効期間が80日(絶対変化率0.1%以下)であることを示した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ゲル化 ,  *薄膜 ,  ヒドロキシ基 ,  コロイド ,  *清浄度 ,  被覆 ,  屈折率 ,  透過率 ,  光学素子 ,  *二酸化ケイ素 ,  水分 ,  汚染物質
準シソーラス用語： 有効期限 ,  多孔構造 ,  *常圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： SiO2coating ,  atmosphere ,  ISO Class 5 cleanroom ,  transmittance ,  reflectance ,  refractive index

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 常圧 ,  清浄度 ,  環境 ,  SiO2 ,  薄膜 ,  安定性