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J-GLOBAL ID:201802256376010002   整理番号:18A0468423

走査角度ラマン分光法を用いた多層高分子導波路膜における抽出界面位置【Powered by NICT】

Extracting interface locations in multilayer polymer waveguide films using scanning angle Raman spectroscopy
著者 (2件):
資料名:
巻: 49  号:ページ: 262-270  発行年: 2018年 
JST資料番号: D0305C  ISSN: 0377-0486  CODEN: JRSPAF  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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多層高分子膜のための化学物質含有量,全厚,及び界面位置を測定する非破壊in situ技術に対する需要が増加していると,適切なデータモデルを用いた走査角(SA)Raman分光法の組合せはこの情報を提供することができる。SAラマン分光法は,多層高分子導波路膜の化学組成を測定するために,7~80nm軸空間分解能を含む高分子層の間の埋込み界面の位置を抽出するために開発した。プリズム結合薄膜に光の入射角を走査するSAラマン分光法が,Ramanスペクトルを得た。ポリ(メチルメタクリラート)/ポリスチレンまたはポリ(メチルメタクリラート)/ポリスチレン/poly(メタクリル酸メチル)から成る六つの多層膜は,全厚さ330~1,260nmの範囲で調製した。界面位置は140と680nmの間の個々の層厚を変化させることにより変化させた。ポリ(メタクリル酸メチル)のポリスチレンと812cm~ 1ピーク1,605cm~ 1ピークのRaman振幅比は高分子層内の電場強度の計算に用いたSA Ramanデータをモデル化し,全厚さと界面位置を抽出した。二層および三層膜のSA Ramanおよび形状測定の間で測定された厚さの平均8%と7%の差であった。Copyright 2018 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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高分子固体の構造と形態学 
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