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J-GLOBAL ID：201802256714971388   整理番号：18A0244871

修飾スクリーン印刷技術に基づくPt/Au薄膜熱電対の作製とキャリブレーション【Powered by NICT】

Fabrication and calibration of Pt/Au thin-film thermocouple based on a modified screen printing technology

著者 (4件)： Jiong Ding (Institute of Industry and Trade Measurement Technology, China Jiliang University, Hangzhou, 310018, China) ,  Jichen Wang (Institute of Industry and Trade Measurement Technology, China Jiliang University, Hangzhou, 310018, China) ,  Suijun Yang (Institute of Industry and Trade Measurement Technology, China Jiliang University, Hangzhou, 310018, China) ,  Shuliang Ye (Institute of Industry and Trade Measurement Technology, China Jiliang University, Hangzhou, 310018, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICEMI  ページ： 168-174  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究の目的は,種々の接合厚さを有する薄膜熱電対(TFTC)を製造するための低コストで迅速な製造法を見出すことである。今日では,一般的なTFTC作製方法は,通常,物理蒸着技術に基づいている。それらは高い時間コストと貧弱な経済である。生産効率を改善するために,湿式粉砕技術と組み合わせることである修飾スクリーン印刷技術を採用した。最初に,均一な厚さのPt/Au TFTCは通常のスクリーン印刷技術に基づいて製作した。,異なる接合厚さTFTCは自動高精度ラップ盤による研磨により得た。この段階により,TFTCの接合厚さは本法でインクの粘度と繊度に限定されもはやなかった。キャリブレーション実験を通して,作製したPt/Au TFTCの静的および動的性能を推定した。結果はこれらTFTCのSeebeck係数は50°Cから620°Cの温度におけるワイヤ式熱電対と比較して有意な分解を持っていないことを示した。これらTFTCsの再現性と一貫性は線式熱電対の要求を満足した。パルスレーザ加熱実験の結果は,これらのTFTCの応答時間定数は12.33以下μΞであることを示した。他のスクリーン印刷TFTCと比較して,本研究で提示したPt/Au TFTCは広い温度測定範囲を持っている。はこの迅速かつ経済的に作製したTFTCは多くの過渡的表面温度測定応用の要求を満たすことができることを示唆した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： パルスレーザ ,  粘度 ,  インク ,  *熱電対 ,  金属線 ,  再現性 ,  *金 ,  *白金 ,  接合 ,  物理蒸着 ,  応答時間 ,  *薄膜 ,  温度測定 ,  *スクリーン印刷
準シソーラス用語： Seebeck係数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 熱電デバイス  (NC03090J) ,  温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 修飾 ,  スクリーン印刷 ,  Pt ,  Au ,  薄膜 ,  熱電対 ,  作製 ,  キャリブレーション