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J-GLOBAL ID:201802257072498801   整理番号:18A0798630

導電性マスクによるマイクロディンプルのジェット電気化学機械加工【JST・京大機械翻訳】

Jet electrochemical machining of micro dimples with conductive mask
著者 (7件):
資料名:
巻: 257  ページ: 101-111  発行年: 2018年 
JST資料番号: H0650A  ISSN: 0924-0136  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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典型的な表面組織としてのマイクロディンプルは,機能性と性能を強化するために多くの分野で使用されてきた。電気化学加工(ECM)は,マイクロディンプルを発生させるための有望なアプローチである。しかしながら,金属溶解の等方性のために,マイクロディンプルの横方向のアンダーカットはECMにおいて不可避であり,それは機械加工位置を減少させる。本論文では,マイクロディンプルのアンダーカットを低減し,加工位置を改善するために,導電性マスクジェット電気化学加工の方法を提案した。この方法では,絶縁パターン化マスクの代わりに導電性パターンマスクを加工中に直接工作物上に被覆し,マイクロディンプルの端部での電場強度を低減することにより,マイクロディンプルのアンダーカットを減少させることができた。さらに,金属ノズル(内径2mm)を用いて,マスクと工作物の間の付着を強化するための安定な柱状噴流を提供し,加工領域における電解質の更新を行った。これは,深いマイクロディンプルの生成に有用であった。シミュレーション結果は,導電性マスクが効果的にマイクロディンプルの端部における電場同一性を減少させることができることを示した。そして,プロファイルのアンダーカットは絶縁マスクによって作り出されたものと比較して明らかに減少した。実験結果は,導電性マスクJEMによって,深さが55μmに増加したとき,マイクロディンプルのアンダーカットがちょうど9μmであることを示した。エッチング因子(EF)は6.11に達して,それは絶縁マスクによるそれより4倍大きかった。深さが45μmから85μmに増加すると,マイクロディンプルのアンダーカットは7μmから15μmに拡大した。深さにおける材料除去比率は,直径におけるそれより明らかに速くて,それは低いアンダーカットと高い機械加工位置確認を示した。さらに,パルス電流と比較して,直流は,導電性マスクJEMにおける深いマイクロディンプルを発生させるために,より適切であった。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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ガラスの製造 

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