文献

J-GLOBAL ID：201802257330974799   整理番号：18A1680687

単結晶ダイヤモンド微小共振器の熱アニーリングによる光学的品質因子の増強【JST・京大機械翻訳】

Enhancement of Optical Quality Factor by Thermal Annealing of Single Crystal Diamond Micro-Resonators

著者 (4件)： Graziosi Teodoro (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne, Lausanne, Switzerland) ,  Mi Sichen (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne, Lausanne, Switzerland) ,  Kiss Marcell (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne, Lausanne, Switzerland) ,  Quack Niels (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne, Lausanne, Switzerland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： OMN  ページ： 1-5  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱アニーリングによる懸濁単結晶ダイヤモンドマイクロディスク共振器の光学品質因子の増加について報告した。バルク単結晶ダイヤモンド中の円形ピラーを得るためにDeep Reactive Ion Etching(DRIE)により共振器を作製し,続いて多方向集束イオンビーム(FIB)ミリングを行い,アンカーを形成し,マイクロディスクを薄くし,側壁を滑らかにした。500b°C,4hの空気中での熱アニーリングは,FIB誘起結晶損傷を除去し,アニーリング前の共振器と比較して,5xまでの増加に対応して,5’700までの光学品質因子をもたらした。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 集束イオンビーム ,  *焼なまし ,  懸濁液 ,  *結晶 ,  *共振器 ,  *微小共振器
準シソーラス用語： マイクロディスク ,  マイクロディスク共振器 ,  *品質因子 ,  *熱アニーリング ,  *単結晶ダイアモンド , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  パターン認識  (JE07000S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 単結晶ダイヤモンド ,  微小共振器 ,  熱アニーリング ,  光学 ,  品質因子 ,  増強