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J-GLOBAL ID：201802257347305524   整理番号：18A0770280

微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究-熱検知センサプローブの構築と基礎特性評価-

著者 (5件)： 清水裕樹 (東北大) ,  松野優紀 (東北大) ,  CHEN Yuan-Liu (東北大) ,  松隈啓 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2018  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C14  発行年： 2018年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロメートルサイズの熱検知素子を,測定対象の平滑面に近接することで創成する微空間での熱収支変化を検知することで,平滑面上の微小欠陥の存在を検出する手法を提案している。本報では,表面欠陥検出実現に向け,熱検知素子を多軸駆動圧電素子に搭載し,これに熱検知素子-測定面間の相対傾斜を検出する光学式角度センサを組み込んだ熱検知センサプローブを構築するとともに,その基礎特性を評価した結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 熱収支 ,  *滑面 ,  プローブ ,  *センサ ,  キャラクタリゼーション ,  表面欠陥 ,  傾斜角 ,  *故障検出
準シソーラス用語： マイクロセンサ ,  *角度センサ ,  *熱センサ ,  *欠陥検出

分類 (1件)： その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R)

タイトルに関連する用語 (9件)： 熱収支 ,  平滑面 ,  欠陥検出 ,  研究 ,  検知センサ ,  プローブ ,  構築 ,  基礎 ,  特性評価