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J-GLOBAL ID：201802257550418652   整理番号：18A0796733

熱蒸発により作製したZnTe薄膜の性質に及ぼす角度堆積の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of angle deposition on the properties of ZnTe thin films prepared by thermal evaporation

著者 (4件)： Hussain Tanvir (Physics Department, King Fahd University of Petroleum and Minerals, Dhahran 31261, Saudi Arabia) ,  Al-Kuhaili M.F. (Physics Department, King Fahd University of Petroleum and Minerals, Dhahran 31261, Saudi Arabia) ,  Durrani S.M.A. (Physics Department, King Fahd University of Petroleum and Minerals, Dhahran 31261, Saudi Arabia) ,  Qayyum H.A. (Physics Department, King Fahd University of Petroleum and Minerals, Dhahran 31261, Saudi Arabia)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 44  号： 9  ページ： 10130-10140  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnTeの薄膜を,熱蒸着により0°,20°,40°,60°および80°の角度で蒸着した。ZnTe薄膜の化学的,構造的,形態的,光学的および光電流特性を調べた。膜の元素組成をエネルギー分散X線分光法(EDX)とX線光電子分光法(XPS)により調べた。EDXとXPS分析は,より低い角度(0°と20°)で,堆積した膜は40°でTeに富み,堆積した膜はほぼ化学量論的であることを示した。そして,より高い角度(60°と80°)では,堆積した膜はZnリッチであった。X線回折(XRD)分析は,すべての膜が多結晶であることを示した。X線回折パターンは,低角度堆積膜がTe元素に属する2θ=36.47°で余分なピークを持つことを示した。原子間力顕微鏡分析により,膜の表面粗さは,傾斜角により増加したシャドウイング効果のため,蒸着角を0°から80°に増加することにより増加することが明らかになった。これらの膜における高い金属Zn含有量のために,高角度堆積膜(ZnTe-60°,ZnTe-80°)は,低角度堆積膜に比べて透過率が低く,反射率が高いことが観察された。電流-電圧(I-V)測定は,ほぼ化学量論的(ZnTe-40°)膜が非化学量論的膜(ZnTe-0°,ZnTe-20°,ZnTe-60°,ZnTe-80°)に比べて良好な光電流応答を示すことを示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *テルル ,  *テルル化亜鉛 ,  *薄膜 ,  反射率 ,  X線光電子分光法 ,  *亜鉛 ,  多結晶 ,  形態 ,  透過率 ,  真空蒸着 ,  電圧 ,  X線回折 ,  光電流 ,  原子間力顕微鏡 ,  エネルギー分散X線分光分析

著者キーワード (5件)： 角度堆積 ,  衝突 ,  エネルギー分散型X線分光法 ,  透過率 ,  光電流

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 蒸発 ,  作製 ,  ZnTe ,  薄膜 ,  性質 ,  堆積