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J-GLOBAL ID：201802257823552936   整理番号：18A0792800

透過型電子顕微鏡における石英ガラス膜の調製とその場引張試験のための新しいアプローチ【JST・京大機械翻訳】

A Novel Approach for Preparation and In Situ Tensile Testing of Silica Glass Membranes in the Transmission Electron Microscope

著者 (9件)： Mackovic Mirza (Institute of Micro- and Nanostructure Research and Center for Nanoanalysis and Electron Microscopy (CENEM), FAU Erlangen-Nuernberg) ,  Przybilla Thomas (Institute of Micro- and Nanostructure Research and Center for Nanoanalysis and Electron Microscopy (CENEM), FAU Erlangen-Nuernberg) ,  Dieker Christel (Institute of Micro- and Nanostructure Research and Center for Nanoanalysis and Electron Microscopy (CENEM), FAU Erlangen-Nuernberg) ,  Herre Patrick (Institute of Particle Technology (LFG), FAU Erlangen-Nuernberg) ,  Romeis Stefan (Institute of Particle Technology (LFG), FAU Erlangen-Nuernberg) ,  Stara Hana (Institute of Micro- and Nanostructure Research and Center for Nanoanalysis and Electron Microscopy (CENEM), FAU Erlangen-Nuernberg) ,  Schrenker Nadine (Institute of Micro- and Nanostructure Research and Center for Nanoanalysis and Electron Microscopy (CENEM), FAU Erlangen-Nuernberg) ,  Peukert Wolfgang (Institute of Particle Technology (LFG), FAU Erlangen-Nuernberg) ,  Spiecker Erdmann (Institute of Micro- and Nanostructure Research and Center for Nanoanalysis and Electron Microscopy (CENEM), FAU Erlangen-Nuernberg)
資料名： Frontiers in Materials (Web)  (Frontiers in Materials (Web))
巻： 4  ページ： 10  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7077A  ISSN： 2296-8016  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロおよびナノメートル領域におけるガラスの機械的挙動は,今日の現代技術においてますます重要性を増している。しかしながら,ガラスの機械的性質の信頼できる評価のための適切な小規模調製と機械的試験アプローチは依然として大きな課題のままである。本研究において,透過型電子顕微鏡(TEM)における薄いシリカガラス膜の部位特異的調製と定量的in situ引張試験のための新しいアプローチを提示した。それにより,先進集束イオンビーム技術を用いて,その場引張試験に適したナノスケールのイヌ骨形状シリカガラス試料の調製を行った。少量のガリウムが,集束イオンビーム調製手順の間の再堆積効果から生じる膜の表面上に検出される。電子とガリウムイオンによる照射によるシリカガラスの可能な構造変化を制御照射実験により調べ,続いてRaman分光法を用いた構造解析を行った。中程度の電子ビーム照射は石英ガラスの構造を変化させないが,イオンビーム照射はシリカガラス膜の小さな緻密化をもたらす。電子ビーム照射下での膜のその場引張試験は,超塑性現象を確認する破壊のない明確な伸びをもたらす。対照的に,電子ビームの不在下でのその場引張試験は,弾性/塑性変形挙動を明らかにし,最終的に膜の破壊をもたらす。TEMでのビームオフ条件でのガラス膜のYoung率はバルク溶融シリカで知られている値と同程度であるが,引張強さは同程度の寸法を持つシリカガラス繊維で報告された値の範囲にある。シリカガラス膜の機械的性質に及ぼす電子ビーム照射の影響をさらに検討した。本研究の結果は,シリカガラスの専用調製とナノ機械的特性化のための新しい道を開き,ナノメートル領域までスケールダウンされたときのそのようなガラスの機械的挙動の基本的理解に寄与する。Copyright 2018 The Author(s). All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 弾性 ,  緻密化 ,  *ガラス ,  *石英ガラス ,  引張強さ ,  キャラクタリゼーション ,  *石英 ,  二酸化ケイ素 ,  Young率 ,  *引張試験 ,  電子照射 ,  *透過型電子顕微鏡 ,  電子ビーム ,  集束イオンビーム ,  構造解析

著者キーワード (8件)： 石英ガラス ,  その場透過型電子顕微鏡 ,  その場ナノメカニカル試験 ,  機械的性質 ,  電子ビーム照射 ,  超塑性 ,  集束イオンビーム ,  Raman分光法

分類 (4件)： ガラスの製造  (YC02020O) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V) ,  ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z) ,  その他の非晶質の構造  (BK04040Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 透過型電子顕微鏡 ,  石英 ,  ガラス膜 ,  調製 ,  引張試験