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J-GLOBAL ID：201802258171481023   整理番号：18A1450955

PDMSマトリックスプラズマ法結合プロセスと効果分析【JST・京大機械翻訳】

Analysis of Plasma Bonding Process and Effect for PDMS

著者 (4件)： Cui Dongxu (揚州大学机械工程学院,江蘇揚州,225127) ,  Zhang Ruoyu (揚州大学机械工程学院,江蘇揚州,225127) ,  Yu Tian (揚州大学机械工程学院,江蘇揚州,225127) ,  Dai Longchao (揚州大学机械工程学院,江蘇揚州,225127)
資料名： Jixie Kexue yu Jishu  (Jixie Kexue yu Jishu)
巻： 37  号： 5  ページ： 792-796  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2050A  ISSN： 1003-8728  CODEN： JKJIE6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ポリジメチルシロキサン(PDMS)マトリックスの種々の結合時間,結合負荷圧力下のPDMS-PDMSの結合効果を,種々のプロセスパラメータで,異なるプロセスパラメータで処理して,研究した。3因子4レベル直交試験と比較試験を行った。実験結果は以下を示す。主から順に,空気流量,改質時間,RFパワー,および5分の高速不可逆結合(結合5分)のプロセスパラメータを得た。400W,2.5L/min,2min;中、高RFパワー(300W以上)結合10hの結合効果は実験の要求に達し、低RFパワー(200W以下)の結合は24h以上でも試験の要求に満たなかった。結合荷重圧力が0.4MPaを超えると,結合効果は著しく増加した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 比較試験 ,  *プロセスパラメータ ,  不可逆性 ,  風量 ,  直交性 ,  高速度

著者キーワード (4件)： plasma treatment ,  orthogonal tests ,  irreversible bonding ,  bonding effect

分類 (1件)： 計算機シミュレーション  (JE11000H)

タイトルに関連する用語 (4件)： PDMS ,  マトリックス ,  プラズマ ,  プロセス