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J-GLOBAL ID：201802258315583971   整理番号：18A1766860

NaCl支援型H₂SおよびWF₆前駆体からのCVD成長した原子層WS₂の結晶性の改善

Improved Crystallinity of CVD-Grown Atomic Layered WS₂ from H₂S and WF₆ Precursors with NaCl Assistance

著者 (5件)： OKADA Mitsuhiro (AIST, Tsukuba, JPN) ,  OKADA Naoya (AIST, Tsukuba, JPN) ,  CHANG Wen Hsin (AIST, Tsukuba, JPN) ,  ANDO Atsushi (AIST, Tsukuba, JPN) ,  IRISAWA Toshifumi (AIST, Tsukuba, JPN)
資料名： フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム講演要旨集  (Abstracts. Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium)
巻： 55th  ページ： 120  発行年： 2018年09月11日 
JST資料番号： L1472A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  塩化ナトリウム ,  *硫化水素 ,  *タングステン化合物 ,  *多硫化物 ,  *フッ化物 ,  スペクトル ,  光学顕微鏡法 ,  結晶度
準シソーラス用語： 原子層蒸着 ,  *二硫化タングステン ,  光ルミネセンススペクトル

分類 (2件)： 塩  (CD01050V) ,  その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

タイトルに関連する用語 (8件)： NaCl ,  支援 ,  H2S ,  前駆体 ,  CVD ,  成長 ,  原子層 ,  結晶性