文献

J-GLOBAL ID：201802258374490460   整理番号：18A1580136

回折光学素子検出およびデータ処理【JST・京大機械翻訳】

Detection and data processing of diffractive optical element

著者 (5件)： Zhang Yunlong (西安応用光学研究所,陜西西安,710065) ,  Wang Zhibin (西安応用光学研究所,陜西西安,710065) ,  Zhang Feng (西安応用光学研究所,陜西西安,710065) ,  Guo Xiaogang (西安応用光学研究所,陜西西安,710065) ,  Li Junqi (西安応用光学研究所,陜西西安,710065)
資料名： Yingyong Guangxue  (Yingyong Guangxue)
巻： 39  号： 3  ページ： 355-358  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2741A  ISSN： 1002-2082  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 回折光学素子はその優れた光学性能により、理想的な波面を変調でき、球面、非球面光学系より校正色差の面で大きな優位性がある。回折光学素子の加工の難点は、その加工精度が非球面基底の面形が精度の要求を満たすだけでなく、回折構造の位相突然変異点と高度の要求を満たす必要がある。その面形不連続性のため、位相突然変異点が存在し、従来の検出方式は要求を満たすことができない。プロファイラの検出誤差のソースを分析して,データ処理をデータ分析のデータによって解析して,次に,この方法によって得られた誤差データを部品加工に適用して,直径120mmの回折面の加工面のエラーは0.539μmであった。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 位相 ,  突然変異 ,  *回折 ,  球面 ,  色差 ,  基底 ,  *データ処理 ,  工作精度 ,  データ解析 ,  波面 ,  光学的性質
準シソーラス用語： 部品加工 ,  プロファイラ ,  非球面 ,  *回折光学素子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： diffractive optical element (DOE) ,  data processing ,  error analysis ,  profile detection

分類 (3件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (1件)： 回折光学素子