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J-GLOBAL ID：201802258679568685   整理番号：18A0936598

レーザ誘起アブレーション四重極質量分析とレーザ誘起破壊分光法を用いた深さ分解試料組成分析【JST・京大機械翻訳】

Depth-resolved sample composition analysis using laser-induced ablation-quadrupole mass spectrometry and laser-induced breakdown spectroscopy

著者 (9件)： Oelmann J. (Forschungszentrum Juelich GmbH, Institut fuer Energie- und Klimaforschung - Plasmaphysik, Partner of the Trilateral Euregio Cluster (TEC), 52425 Juelich, Germany) ,  Gierse N. (Forschungszentrum Juelich GmbH, Institut fuer Energie- und Klimaforschung - Plasmaphysik, Partner of the Trilateral Euregio Cluster (TEC), 52425 Juelich, Germany) ,  Li C. (Forschungszentrum Juelich GmbH, Institut fuer Energie- und Klimaforschung - Plasmaphysik, Partner of the Trilateral Euregio Cluster (TEC), 52425 Juelich, Germany) ,  Li C. (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams, Chinese Ministry of Education, School of Physics, Dalian University of Technology, 116024 Dalian, PR China) ,  Brezinsek S. (Forschungszentrum Juelich GmbH, Institut fuer Energie- und Klimaforschung - Plasmaphysik, Partner of the Trilateral Euregio Cluster (TEC), 52425 Juelich, Germany) ,  Zlobinski M. (Forschungszentrum Juelich GmbH, Institut fuer Energie- und Klimaforschung - Plasmaphysik, Partner of the Trilateral Euregio Cluster (TEC), 52425 Juelich, Germany) ,  Turan B. (Forschungszentrum Juelich GmbH, Institut fuer Energie- und Klimaforschung - Photovoltaik, 52425 Juelich, Germany) ,  Haas S. (Forschungszentrum Juelich GmbH, Institut fuer Energie- und Klimaforschung - Photovoltaik, 52425 Juelich, Germany) ,  Linsmeier Ch. (Forschungszentrum Juelich GmbH, Institut fuer Energie- und Klimaforschung - Plasmaphysik, Partner of the Trilateral Euregio Cluster (TEC), 52425 Juelich, Germany)
資料名： Spectrochimica Acta. Part B. Atomic Spectroscopy  (Spectrochimica Acta. Part B. Atomic Spectroscopy)
巻： 144  ページ： 38-45  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0793A  ISSN： 0584-8547  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 試料の材料組成を監視することは,研究と産業開発における死後分析だけでなく,工業的プロセス制御のための過去数年にわたってますます重要になった。材料組成の同定と標準試料との比較は微細であるが,標準試料なしで深さ分解能を持つ定量的情報を提供できる診断の欠如がある。ピコ秒レーザ誘起アブレーションと揮発性化学種の放出後の四重極質量分析による残留ガス分析を利用する新しい方法を示した。本実験では,良く特性化された多層薄膜太陽電池(μc-Si:HとZnO:Al電極上のp-i-n接合としてのa-Si:H)を,新しい方法の能力を実証するための良く特性化された材料試料のセットとして用いた。ガス圧力に対する分光計信号の線形性は,その較正を単純化し,他の解析技術と比較して不確実性を低減するが,高真空条件(10~6hPa~10~7hPa)は,百分率範囲よりも高感度に到達するために必要である。さらに,レーザアブレーションに基づく試料分析は試料の調製を必要とせず,アブレーション速度に関して柔軟である。ピコ秒レーザパルスの応用により,レーザの熱侵入深さはアブレーション速度と同じ桁になり,100nmのオーダーで深さ分解能を達成し,試料中のレーザ誘起クレータのエッジでのマトリックス混合効果を避けることができた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アブレーション ,  レーザアブレーション ,  *レーザ ,  線形性 ,  分光計 ,  *四重極質量分析 ,  キャラクタリゼーション ,  パルス ,  不確実性 ,  化学種 ,  アルミニウム ,  酸化亜鉛 ,  ピコ秒
準シソーラス用語： ピコ秒レーザ ,  *レーザ誘起 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： レーザ誘起アブレーション ,  四重極質量分析 ,  レーザ誘起破壊分光法 ,  薄膜太陽電池 ,  無調製試料分析

分類 (4件)： 分光分析  (CC03012W) ,  鉱物・岩石・鉱石の物理分析  (CC03090Y) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  無機物質中の元素の物理分析  (CC03022H)

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザ誘起 ,  アブレーション ,  四重極質量分析 ,  レーザ誘起破壊分光法 ,  分解 ,  試料 ,  組成分析