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J-GLOBAL ID：201802259052753758   整理番号：18A1613701

超高真空環境における窒化ウランと酸窒化物膜の熱安定性【JST・京大機械翻訳】

Thermal stability of uranium nitride and oxynitride films in an ultra-high vacuum environment

著者 (8件)： Lu Lei (China Academy of Engineering Physics, Mianyang, 621907, China) ,  Li Fangfang (China Academy of Engineering Physics, Mianyang, 621907, China) ,  Xiao Hong (China Academy of Engineering Physics, Mianyang, 621907, China) ,  Hu Yin (Science and Technology on Surface Physics and Chemistry Laboratory, Mianyang, 621908, China) ,  Luo Lizhu (Science and Technology on Surface Physics and Chemistry Laboratory, Mianyang, 621908, China) ,  Bai Bin (China Academy of Engineering Physics, Mianyang, 621907, China) ,  Liu Jing (Science and Technology on Surface Physics and Chemistry Laboratory, Mianyang, 621908, China) ,  Liu Kezhao (China Academy of Engineering Physics, Mianyang, 621907, China)
資料名： Journal of Nuclear Materials  (Journal of Nuclear Materials)
巻： 509  ページ： 408-416  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0148A  ISSN： 0022-3115  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波(RF)マグネトロンスパッタリングによりSi基板上に窒化ウラン(UN_1.66)とオキシ窒化物(UN_1 ・_2O_0.23)膜を調製した。膜を走査電子顕微鏡(SEM),X線回折(XRD)およびAuger電子分光法(AES)によって研究した。次に,窒化ウランと酸窒化物膜の真空熱処理をAESの超高真空容器中でその場研究した。実験結果は,無線周波数マグネトロンスパッタリング法により作製したUN_1.66とUN_1・_2O_0.23膜が高密度で均一であることを示した。UN_1.66膜の表面は熱処理開始時にUN_xO_yに変化した。次に,表面は温度の上昇とともにUO_2に変化した。温度が573Kを超えると,UO_2相は,表面のN含有量の増加に伴い,UN_1.66表面下の分解N原子の拡散により,UN_xO_y相に徐々に変化した。UN_1.42O_0.23膜は573Kまで良好な安定性を示した。UN_xO_yとUO_2混合相は,初期酸化の後,UN_1 ・_4O_0.23の表面に形成される。UN_1からの分解窒素により,温度が573Kを超えると,UO_2相は再びUN_xO_yに戻る。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 酸化 ,  電子顕微鏡観察 ,  *窒化ウラン ,  窒素 ,  Auger分光法 ,  X線回折 ,  HF【周波数】 ,  熱処理 ,  *超高真空 ,  *熱安定性 ,  マグネトロンスパッタリング ,  走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： 高密度 ,  無線周波数 ,  真空熱処理 ,  シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 窒化ウラン ,  オキシ窒化ウラン ,  熱処理 ,  熱安定性

分類 (2件)： 核燃料の基礎的性質  (MD08020V) ,  燃料要素  (MD04030E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高真空 ,  環境 ,  窒化ウラン ,  酸窒化物 ,  熱安定性