文献

J-GLOBAL ID：201802259134863500   整理番号：18A0929421

核形成と成長機構によるトポグラフィーナノパターンによる星状ブロック共重合体の指向性自己集合【JST・京大機械翻訳】

Directed Self-Assembly of Star-Block Copolymers by Topographic Nanopatterns through Nucleation and Growth Mechanism

著者 (11件)： Krishnan Mohan Raj (Department of Chemical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, 30013, Taiwan, Republic of China) ,  Lu Kai-Yuan (Department of Chemical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, 30013, Taiwan, Republic of China) ,  Chiu Wen-Yu (Department of Electrical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, 30013, Taiwan, Republic of China) ,  Chen I-Chen (Department of Chemical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, 30013, Taiwan, Republic of China) ,  Lin Jheng-Wei (Department of Chemical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, 30013, Taiwan, Republic of China) ,  Lo Ting-Ya (Department of Chemical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, 30013, Taiwan, Republic of China) ,  Georgopanos Prokopios (Institute of Polymer Research, Helmoltz-Zentrum Geesthacht, Max-Planck-Str. 1, Geesthacht, 21502, Germany) ,  Georgopanos Prokopios (Department of Materials Science Engineering, University of Ioannina, University Campus, Ioannina, 45110, Greece) ,  Avgeropoulos Apostolos (Department of Materials Science Engineering, University of Ioannina, University Campus, Ioannina, 45110, Greece) ,  Lee Ming-Chang (Department of Electrical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, 30013, Taiwan, Republic of China) ,  Ho Rong-Ming (Department of Chemical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, 30013, Taiwan, Republic of China)
資料名： Small  (Small)
巻： 14  号： 16  ページ： e1704005  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2348A  ISSN： 1613-6810  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 閉じ込められた条件下での自己集合ブロック共重合体(BCP)薄膜の秩序化機構と動力学の探索はBCPリソグラフィーの応用において非常に重要である。本研究では,垂直円筒を有するナノ構造薄膜としてポリスチレン(PS)とポリ(ジメチルシロキサン)ブロックから成るシリコン含有3アーム星ブロック共重合体の自己集合機構と速度論を調べ,トポグラフパターン化基板を用いた配向自己集合により横方向秩序化を制御した。PS機能化側壁を有する作製された地形パターン内の星状ブロック共重合体の秩序化過程は,トポグラフィーパターンのエッジおよび/またはコーナーから開始されたミクロ相分離のための二次(すなわち不均一)核形成のタイプを通して行うことができ,よく秩序化された六角形充填垂直円筒として成長することができる。限られたミクロ相分離の成長速度は,寸法とあらかじめ形成されたパターンの幾何学的集合組織に非常に依存している。BCP薄膜の秩序化のための高速自己組織化は,閉じ込め次元を下げることにより達成され,また,トップダウンとボトムアップアプローチの統合からBCPリソグラフィーの設計のための新しい戦略を提供する,予備パターンの懸念数を増加させることができる。Copyright 2018 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *核形成 ,  成長速度 ,  ナノ構造 ,  ミクロ相分離 ,  *共重合体 ,  速度論 ,  リソグラフィー ,  薄膜 ,  ポリジメチルシロキサン ,  高速度 ,  集合組織 ,  *指向性 ,  円筒 ,  *自己集合
準シソーラス用語： *成長メカニズム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 有向自己集合 ,  核形成と成長 ,  PS-PDMS ,  星状ブロック共重合体 ,  薄膜

分類 (1件)： 高分子固体の構造と形態学  (CG02022M)

タイトルに関連する用語 (6件)： 核形成 ,  成長機構 ,  星状ブロック ,  共重合体 ,  指向性 ,  自己集合