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J-GLOBAL ID：201802259504051810   整理番号：18A0526869

マグネトロンスパッタリング,電気火花蒸着,および複合段プロセスにより作製したTi C Ni Al,Ti C Ni Fe,Ti C Ni Al/Ti C Ni Fe被覆層の比較研究【Powered by NICT】

Comparative study of Ti-C-Ni-Al, Ti-C-Ni-Fe, and Ti-C-Ni-Al/Ti-C-Ni-Fe coatings produced by magnetron sputtering, electro-spark deposition, and a combined two-step process

著者 (5件)： Kiryukhantsev-Korneev Ph.V. (National University of Science and Technology “MISIS”, Leninsky prospect 4, Moscow, Russia) ,  Sheveyko A.N. (National University of Science and Technology “MISIS”, Leninsky prospect 4, Moscow, Russia) ,  Shvindina N.V. (National University of Science and Technology “MISIS”, Leninsky prospect 4, Moscow, Russia) ,  Levashov E.A. (National University of Science and Technology “MISIS”, Leninsky prospect 4, Moscow, Russia) ,  Shtansky D.V. (National University of Science and Technology “MISIS”, Leninsky prospect 4, Moscow, Russia)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 44  号： 7  ページ： 7637-7646  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiCNi電極を用いた電気スパーク堆積(ESD),TiCNiAlターゲットのマグネトロンスパッタリング(MS),およびこれらの方法の組合せ(MS ESD)によって得たTi C Ni Fe,Ti C Ni Al,Ti C Ni Al/Ti C Ni Feコーティングの比較研究を行った。コーティングの微構造と元素組成はX線回折,走査電子顕微鏡,エネルギー分散分光,グロー放電発光分光法により調べた。材料は,滑り,衝撃とアブレシブ条件だけでなく,耐食性および耐酸化性での硬度,弾性係数,弾性回復,亀裂抵抗,摩擦係数,および耐摩耗性の観点から試験した。の研究は,組み合わされた2段MS ESD技術の利用がMSにより堆積したそれらの単層Ti C Ni Al対応物と比較し,ESD Ti C Ni Fe被覆と比較して低い摩擦係数と耐食性を強化した改良亀裂,耐摩耗・耐酸化性Ti C Ni Al/Ti C Ni Feコーティングの形成された二分子膜を得ることを可能にすることを示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 酸化 ,  摩擦係数 ,  スペクトロスコピー ,  *ニッケル ,  *マグネトロンスパッタリング ,  エネルギー散逸 ,  弾性係数 ,  走査電子顕微鏡 ,  *被覆 ,  亀裂 ,  硬度 ,  耐酸化性 ,  *アルミニウム ,  *チタン ,  耐摩耗性

著者キーワード (6件)： Ti C Ni AlとTi C Ni Fe被覆 ,  SHS電極 ,  マグネトロンスパッタリング ,  放電析出 ,  機械的性質とトライボロジー特性 ,  酸化と耐食性

分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (11件)： マグネトロンスパッタリング ,  火花 ,  蒸着 ,  プロセス ,  作製 ,  Ti ,  Ni ,  Al ,  Fe ,  被覆層 ,  研究