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J-GLOBAL ID：201802259900030299   整理番号：18A0517657

MEMS圧力センサアレイに基づくサージ検出技術に関する研究【Powered by NICT】

Research on surge detection technology based on MEMS pressure sensor array

著者 (5件)： Shi-min Fu (The 49th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Harbin 150001) ,  Na Qi (The 49th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Harbin 150001) ,  Xing-yu Liu (The 49th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Harbin 150001) ,  Shi-ning Wang (The 49th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Harbin 150001) ,  Li-jie Chen (The 49th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Harbin 150001)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EIIS  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,サージ方向スペクトルの理論モデルを確立し,サージ検出の技術的方式を解析計算により決定した。サージを検出するアレイに基づくMEMS圧力センサ。本論文では,理論的モデルによるMEMS圧力センササージ行動域展開モードを決定した。LABVIEWデータ収集カード圧力センサアレイ値のすべての点値を収集した。アレイの圧力値の解析と処理を通して,サージ領域の圧力変化傾向が得られた。実験は設計が合理的であり,実現可能で,MEMS圧力センサの精度は1cmであり,全範囲0.5m,サージの方向は,相変化によって得ることができ,サージの高さは圧力センサの振幅により測定することができることを示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 相転移 ,  圧力変動 ,  *検出法 ,  *圧力センサ ,  データ収集 ,  *MEMS ,  スペクトル ,  *センサアレイ
準シソーラス用語： 理論モデル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  医療用機器装置  (GA05020L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  圧力センサ ,  アレイ ,  検出技術 ,  研究