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J-GLOBAL ID：201802260523768928   整理番号：18A0439060

微細加工電気力学シンセティックジェットアクチュエータ【Powered by NICT】

Microfabricated Electrodynamic Synthetic Jet Actuators

著者 (4件)： Sawant Shashank G. (Interdisciplinary Microsystems Group, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  George Benjamin (Unsteady Fluid Dynamics Group, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Ukeiley Lawrence S. (Unsteady Fluid Dynamics Group, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Arnold David P. (Interdisciplinary Microsystems Group, University of Florida, Gainesville, FL, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 27  号： 1  ページ： 95-105  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,設計,製作およびバッチ製作金型部品を用いたチップスケール電気力学シンセティックジェットアクチュエータの特性化を提示した。アクチュエータは,間にサンドイッチされたプラスチックスペーサを有する二金型の集合である。頂部ダイを銅マイクロコイルとジェットを合成しオリフィスから構成されている。底部ダイはワックスNdFeBボンド磁石を用いたポリジメチルシロキサンダイヤフラムから構成されている。集合したとき,マイクロコイルにかけた交流電流は磁石の振動アクチュエーションを強制し,それに対応してオリフィスを通過する流体の摂取と排除。組み立てたアクチュエータの寸法は7.5mm×7.5mm×1.1mmである。ピーク噴流速度は,入力電力の20mWに相当する200mA_pp電流の入力のための160Hzで4.3m/sと測定された。[2017 0166]Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電流 ,  *電気力学 ,  磁石 ,  ワックス ,  *微細加工 ,  *アクチュエータ ,  ロット ,  銅 ,  キャラクタリゼーション ,  オリフィス ,  交流 ,  ボンド磁石
準シソーラス用語： マイクロコイル ,  金型材料 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微細加工 ,  電気力学 ,  シンセティックジェット ,  アクチュエータ