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J-GLOBAL ID：201802260590458888   整理番号：18A0840528

シリコンとマグネシウムの共ドーピングによる非晶質アルミナ薄膜の著しく増強されたエネルギー密度【JST・京大機械翻訳】

Significantly enhanced energy density of amorphous alumina thin films via silicon and magnesium co-doping

著者 (4件)： Feng Qian (Functional Materials Research Laboratory, School of Materials Science and Engineering, Tongji University, No. 4800 Caoan Road, Shanghai 201804, China) ,  Yao Manwen (Functional Materials Research Laboratory, School of Materials Science and Engineering, Tongji University, No. 4800 Caoan Road, Shanghai 201804, China) ,  Su Zhen (Functional Materials Research Laboratory, School of Materials Science and Engineering, Tongji University, No. 4800 Caoan Road, Shanghai 201804, China) ,  Yao Xi (Functional Materials Research Laboratory, School of Materials Science and Engineering, Tongji University, No. 4800 Caoan Road, Shanghai 201804, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 44  号： 10  ページ： 11160-11165  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質Al_2O_3薄膜の誘電特性を改善するために,異なるSi-Mg共ドーピング量を調べた。DSC,FT-IRおよびXPSスペクトルの解析によると,ガラスネットワークの新しい構造が共ドープAl_2O_3薄膜に形成されることを確認できた。さらに重要なことに,Al_2O_3薄膜と比較して,(Al_.97Si_.02Mg_.01)_2O_y薄膜の漏れ電流は2桁減少し,破壊強度は276MV/mから544MV/mに改善された。修飾試料の対応するエネルギー密度は9.2J/cm3に達し,それは非ドープAl_2O_3薄膜のそれより6.2J/cm3の増強であった。有限要素解析に基づいて,シミュレーション結果は,適用した電場が主にガラスネットワークに焦点を合わせて,それがAl_2O_3構造の安定性を強化して,膜の破壊確率を減少させることができることを示した。欠陥化学の観点から,誘電特性の増強のもう一つの理由は,Si-Mg共ドーピングがカチオン空孔の生成をもたらし,その結果,酸素空格子点の形成を効果的に防止できるということである。本研究は,高性能誘電体キャパシタ素子のための新しい設計戦略を提供することができた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電場 ,  *マグネシウム ,  *ケイ素 ,  漏れ電流 ,  *エネルギー密度 ,  誘電性 ,  *ドーピング ,  誘電体 ,  *非晶質 ,  コンデンサ ,  *薄膜 ,  破壊強さ
準シソーラス用語： 酸素空格子点 ,  有限要素解析 ,  *共ドーピング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 非晶質Al_2O_3 ,  ドーピング ,  破壊強度 ,  漏れ電流 ,  エネルギー密度

分類 (3件)： ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (7件)： シリコン ,  マグネシウム ,  共ドーピング ,  非晶質 ,  アルミナ薄膜 ,  増強 ,  エネルギー密度