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J-GLOBAL ID：201802260886962719   整理番号：18A0813912

黄銅鉱太陽電池製造プロセスにおけるガラス基板曲げを避ける革新的解決策【JST・京大機械翻訳】

Innovative solution to avoid glass substrate bending in a chalcopyrite solar cell fabrication process

著者 (3件)： Ayachi Boubakeur (Institute of Electronics, Microelectronics and Nanotechnology, UMR 8520, Lille 1 University, Avenue Poincare, CS 60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France) ,  Aviles Thomas (CROSSLUX, Avenue Georges Vacher, ZI Rousset Peynier, Immeuble CCE, 13106, Rousset, France) ,  Vilcot Jean-Pierre (Institute of Electronics, Microelectronics and Nanotechnology, UMR 8520, Lille 1 University, Avenue Poincare, CS 60069, 59652, Villeneuve d’Ascq cedex, France)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 653  ページ： 194-199  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 黄銅鉱太陽電池製造プロセスを考慮して,熱プロセス後に観察される通常報告された基板曲げ効果を,フロントサイドハロゲンランプベースのアニーリング構成(Rapid熱アニーリング-RTA装置)において調べた。最初に,モリブデン(Mo)層(自由,引張または圧縮)内の初期応力状態に対する基板曲げ形状依存性を説明する簡単なモデルを提案した。次に,Mo層の堆積のための反応性(酸素ベース)スパッタリング過程を用いて,この問題を簡単に克服することが可能であることを示した。最後に,二層構造Mo(O)/Moを用いることにより,アニールした試料の平坦性をより正確に制御できることを示した。基板曲げにおけるこのような変化を支配する機構を理解するために,X線回折と走査電子顕微鏡画像を用いて,酸素流の関数としての構造的および形態的材料変化を調べた。Mo(O)/Mo二層構造厚さ全体の元素分布も調べた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 平坦性 ,  モリブデン ,  プレストレス ,  焼なまし ,  反応性 ,  酸素 ,  *黄銅鉱 ,  スパッタリング ,  *太陽電池 ,  X線回折 ,  *生産工程
準シソーラス用語： SEM画像 ,  熱アニーリング ,  *ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： モリブデンバックコンタクト ,  薄膜 ,  スパッタリング ,  熱プロセス ,  基板曲げ ,  CIGS太陽電池

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 黄銅鉱 ,  太陽電池 ,  製造プロセス ,  ガラス基板 ,  曲げ ,  解決策