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J-GLOBAL ID：201802261176186900   整理番号：18A1705602

パルスレーザ堆積により蒸着したナノ構造Gdドープセリア薄膜の微細組織,光学及びガス検出特性に及ぼす酸素分圧の影響

Effect of oxygen partial pressure on the microstructural, optical and gas sensing characterization of nanostructured Gd doped ceria thin films deposited by pulsed laser deposition

著者 (4件)： NAGARAJU P. (CMR Technical Campus, Telangana, IND) ,  VIJAYAKUMAR Y. (CMR Technical Campus, Telangana, IND) ,  VIJAYAKUMAR Y. (North Carolina State Univ., NC, USA) ,  REDDY M.V. Ramana (Osmania Univ., Telangana, IND)
資料名： Journal of Asian Ceramic Societies (Web)  (Journal of Asian Ceramic Societies (Web))
巻： 5  号： 4  ページ： 402-409 (WEB ONLY)  発行年： 2017年12月 
JST資料番号： U1450A  ISSN： 2187-0764  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・10mol%のGdをドープしたセリア(CeO₂)薄膜を,異なる酸素分圧(50~200mTorr)中でパルスレーザ堆積により,基板温度1023Kの石英基板上に蒸着。
・薄膜の結晶構造,微細組織,モルフォロジーをXRD,AFM,ラマン分光及びSEMにより解析し,紫外可視分光による光学特性調査及びアセトンガスを用いたガス検出特性の測定を実施。
・薄膜は立方晶蛍石構造を有する多結晶であり,光学バンドギャップ及び屈折率は酸素分圧の増大と共に低下。
・室温から523Kまでの異なる作動温度で,アセトンを用いたガス検出特性からセンサの回復時間を計算。

シソーラス用語： パルスレーザ蒸着 ,  ナノ構造 ,  *酸化セリウム ,  *ガドリニウム ,  *ドーピング ,  分圧 ,  酸素 ,  圧力効果 ,  蒸着膜 ,  基板温度 ,  石英 ,  結晶構造 ,  モルフォロジー ,  Raman分光法 ,  紫外可視吸収スペクトル ,  *ガスセンサ ,  蛍石型結晶 ,  立方晶系 ,  多結晶 ,  光学ギャップ ,  屈折率 ,  加熱温度 ,  脂肪族ケトン
準シソーラス用語： 酸素分圧

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

物質索引 (1件)： アセトン

タイトルに関連する用語 (8件)： パルスレーザ堆積 ,  蒸着 ,  ナノ構造 ,  Gd ,  薄膜 ,  微細組織 ,  光学 ,  酸素分圧