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J-GLOBAL ID：201802261572702726   整理番号：18A1255388

温度補償による集積八角形機械応力センサ【JST・京大機械翻訳】

Integrated Octagonal Mechanical Stress Sensor With Temperature Compensation

著者 (2件)： Ramirez Jose Luis (School of Electrical and Computing Engineering, University of Campinas, Campinas, Brazil) ,  Fruett Fabiano (School of Electrical and Computing Engineering, University of Campinas, Campinas, Brazil)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 18  号： 14  ページ： 5707-5714  発行年： 2018年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,チップ表面に沿った応力状態を計算し,マッピングするために,センサマトリックスに使用されるように特別に設計された温度補償圧電変換器デバイスを示した。このセンサマトリックスは包装により誘起される応力を調べるための適切なツールであり,バックエンド過程の開発を支援する。このセンサのコアは8端子シリコン圧電トランスデューザ(8TSP)である。このマルチターミナルデバイスはバイアス方向のスイッチと異なる方向の測定を可能にする。測定のセットは,圧電変換器の活性領域における一軸応力の角度と大きさの両方を推定するのに有用である。シリコンのピエゾ抵抗率における温度効果の理論モデルに基づいて,センサ特性の熱ドリフトを補償するための統合解をオンチップに実装した。このセンサを機械的応力[0,65]MPaおよび温度範囲[268,353]Kで特性化した。デバイスを用いて,5°以下の誤差で応力の角度を決定し,8TSPが半導体上の応力をマップするためにセンサマトリックスに使用されるのに適していることを示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 温度依存性 ,  スイッチ ,  ケイ素 ,  バイアス ,  圧電気 ,  *温度補償 ,  キャラクタリゼーション ,  *センサ ,  半導体
準シソーラス用語： 温度範囲 ,  オンチップ ,  理論モデル ,  圧電抵抗 ,  圧電変換器 ,  *応力センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 温度補償 ,  集積 ,  八角形 ,  応力センサ