文献

J-GLOBAL ID：201802261894092045   整理番号：18A0385076

SPECS XPSシステムの機器機能【Powered by NICT】

Instrumental function of the SPECS XPS system

著者 (4件)： Popovic Maja (University of Belgrade, INS VINCA, Mike Petrovica Alasa 12-14, 11351 Belgrade, Serbia) ,  Potocnik Jelena (University of Belgrade, INS VINCA, Mike Petrovica Alasa 12-14, 11351 Belgrade, Serbia) ,  Bundaleski Nenad (University of Belgrade, INS VINCA, Mike Petrovica Alasa 12-14, 11351 Belgrade, Serbia) ,  Rakocevic Zlatko (University of Belgrade, INS VINCA, Mike Petrovica Alasa 12-14, 11351 Belgrade, Serbia)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 398  ページ： 48-55  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固定検光子透過モードで作動する,スペクトロメータのエネルギー分解能測定のための簡単な方法を提案し,SPECS Phoibos100スペクトロメータの分解能を決定し,X線光電子分光法(XPS)装置の一部である。分光計分解能は零一s光電子線プロフィル,酸化ほう素をドープしたシリコン単結晶対アナライザパスエネルギーから採取したから得られた。測定は1mmと7mmの幅を持つ二入口スリットを行った。理論的期待値との優れた一致が狭いスリットで得られ,パスエネルギーへの線形依存性を示した。より広いスリットに関しては,理論との一致は低いパスエネルギーだけで達成された。より高いパスエネルギーでは,分解能は,非線形挙動とも飽和を示したが,分析器透過は成長し続けている。全XPSシステムの装置関数は分光計装置関数とX線エネルギープロファイルのコンボリューションとして決定した。価電子帯スペクトルの分析のための全装置関数の有用性も試験した。この目的のために,導入された,価電子帯最大値の位置を解析的に計算する可能性を,高分解能スペクトルの場合に優れた一致を提供する新しいデコンボリューション法。価電子帯スペクトルは低分解能で採用される場合,デコンボリューションは低分解能によるスペクトル偏差を効率的に低下させる,価電子帯最大の決定の正確性は劣る。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 畳込み ,  電子ビーム ,  X線光電子分光法 ,  分析機器 ,  X線 ,  スペクトル ,  分解能 ,  高分解能 ,  線形性 ,  デコンボリューション ,  分光計 ,  エネルギー分解能 ,  *装置関数 ,  価電子バンド ,  ドーピング

著者キーワード (6件)： XPS ,  電子分光法 ,  機器機能 ,  エネルギー分解能 ,  Deconvolution ,  価電子帯極大

分類 (1件)： イオンとの相互作用  (BK16070Z)

タイトルに関連する用語 (1件)： XPS