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J-GLOBAL ID：201802262012169764   整理番号：18A0770513

コヒーレント回折顕微鏡のための高密度X線ミラー集光光学系の開発

著者 (21件)： 湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  湯本博勝 (理研) ,  小山貴久 (高輝度光科学研究セ) ,  小山貴久 (理研) ,  木村隆志 (北大) ,  鈴木明大 (北大) ,  亀島敬 (高輝度光科学研究セ) ,  亀島敬 (理研) ,  城地保昌 (高輝度光科学研究セ) ,  城地保昌 (理研) ,  登野健介 (高輝度光科学研究セ) ,  登野健介 (理研) ,  谷直哉 (北大) ,  橘健朗 (北大) ,  小西祐輔 (北大) ,  別所義隆 (Academia Sinica) ,  西野吉則 (北大) ,  矢橋牧名 (高輝度光科学研究セ) ,  矢橋牧名 (理研) ,  大橋治彦 (高輝度光科学研究セ) ,  大橋治彦 (理研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2018  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.I64  発行年： 2018年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： X線自由電子レーザー施設SACLAにおける高分解能コヒーレント回折顕微鏡のための試料照明用光学系として,4keV用多層膜ミラーによる超高密度集光ビームの実現を目指した。1nm(RMS)の再現性をもつ非接触プローブ走査型の形状計測装置を開発し,数値制御非球面加工装置を用いて本光学系の楕円筒面形状ミラー基板を作製した。SACLAで集光ビームを評価した結果,100nm集光サイズを実現した。(著者抄録)

シソーラス用語： *顕微鏡 ,  *レンズ ,  *X線 ,  *多層膜 ,  *鏡 ,  *集光器 ,  *形状測定 ,  *コヒーレント光
準シソーラス用語： *回折レンズ

分類 (1件)： その他の光学機器  (QF05060C)

タイトルに関連する用語 (7件)： コヒーレント ,  回折 ,  顕微鏡 ,  高密度 ,  X線ミラー ,  集光光学系 ,  開発