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J-GLOBAL ID：201802262033587326   整理番号：18A1022192

直接レーザ焼結により作製した異なる多孔度を持つシリコンミラーの熱変形特性【JST・京大機械翻訳】

The thermal deformation property of silicon mirror with different porosity fabricated by direct laser sintering

著者 (4件)： He Chongwen (Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Chen Baijin (State Key Laboratory of Material Processing and Die and Mould Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, China) ,  Hu Panpan (Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) ,  Zhu Haihong (Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 106  ページ： 209-214  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザシリコンミラーの熱変形に及ぼすヒートシンクの気孔率の影響を調べた。種々の気孔率構造を有する水冷レーザシリコンミラーを,Cu基合金とNaClの直接レーザ焼結と粉末混合物によって製造した。Twyman-Green干渉計を用いて,高出力レーザにより放射されたシリコンミラーの熱変形を測定した。ミラー表面の熱変形は空隙率に著しく関係することを示した。気孔率が増加すると,熱変形は最初に減少し,次に増加する。30.3%のヒートシンク多孔性によって,鏡表面の最小熱変形を得た。吸収レーザパワー密度が5.3×10~5W/m2に達すると,ミラーの最大熱変形は0.25μmである。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *熱変形 ,  銅合金 ,  塩化ナトリウム ,  *レーザ焼結 ,  水冷 ,  ヒートシンク ,  レーザ出力 ,  *空隙率 ,  高出力レーザ ,  多孔性 ,  Twyman-Green干渉計

著者キーワード (5件)： レーザミラー ,  レーザ材料加工 ,  熱変形 ,  液体冷却 ,  多孔性

分類 (2件)： 気体レーザ  (BD04040E) ,  固体レーザ  (BD04080W)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザ焼結 ,  作製 ,  多孔度 ,  シリコン ,  ミラー ,  変形特性