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J-GLOBAL ID:201802262131776007   整理番号:18A1258598

OTSセレクタデバイス:スイッチング性能のための材料工学【JST・京大機械翻訳】

OTS selector devices: Material engineering for switching performance
著者 (9件):
資料名:
巻: 2018  号: ICICDT  ページ: 113-116  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,Ge_2Sb_2Te_5ベースの相変化メモリ(PCM)デバイスとの共集積化のためのGe-SeベースのOvonic Thresholdスイッチ選択器(OTS)の開発について述べた。Ge_58Se_42における高いサブ閾値非線形性は,OTS+PCMセルにおける10~9の非スイッチング読み取り動作を可能にした。SeリッチGe-SeのSbとNドーピングを,OTSスイッチング性能を改善する方法として研究した。材料工学により,10~8のオン/オフ電流比と10~6サイクルまでの耐久性を実証した。薄い界面炭素層の導入により,OTS層の電極から金属種の拡散を制限することにより,耐久性をさらに改善できる(10~9サイクルまで)。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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半導体集積回路 
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