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J-GLOBAL ID：201802262144461313   整理番号：18A0854677

動的増幅二重質量ジャイロスコープにおける構造欠陥の静電補償【JST・京大機械翻訳】

Electrostatic compensation of structural imperfections in dynamically amplified dual-mass gyroscope

著者 (4件)： Efimovskaya Alexandra (MicroSystems Laboratory, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, CA, USA) ,  Wang Danmeng (MicroSystems Laboratory, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, CA, USA) ,  Lin Yu-Wei (MicroSystems Laboratory, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, CA, USA) ,  Shkel Andrei M. (MicroSystems Laboratory, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, CA, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 275  ページ： 99-108  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,作製不完全性の存在下での二重質量MEMS振動ジャイロスコープの動力学に関する研究を示し,動作モードの精密な静電周波数同調のための方法を報告した。多くの多質量MEMSジャイロスコープが,動的にバランスした構造,増加した帯域幅,および動的増幅のような異なる目標を追求している近年出現した。多質量デバイスの多くの認識された利点とともに,自由度(DOF)の増加によるシステムにおけるモード整合に関連するいくつかの課題を考慮しなければならない。本研究は,従来の単一質量ジャイロスコープの同調と同様に,DC同調技術を適用することが可能であり,システムの増加したDOFの利点を失うことなく,二重質量センサにおける精密同調を達成することができることを示した。提示した周波数トリミング技術は,不完全性の存在下での二重質量システムの解析解に実験的周波数応答曲線を適合させることにより,モード不整合とモード間の交差カップリングを評価することに基づいている。同調アルゴリズムは2つのステップを含む。最初に,2つの軸に沿った剛性不整合と非等弾性角αとβを同定し,次に,剛性マトリックスにおける対角,非対角,および結合項の修正のための同調DC電圧を選択した。静電同調法を二重質量動的増幅ジャイロスコープの実験的特性化により検証し,二つの動作モード間の結合を最小化し,周波数分割を26Hzから50mHzまで低減し,ジャイロスコープスケールファクタの17.5倍の増加をもたらし,雑音特性を大幅に改善した。提示した静電補償法はオフラインおよびオンライン較正の両方に適している。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 同調 ,  MEMS ,  キャラクタリゼーション ,  モード整合 ,  アルゴリズム ,  運転モード ,  不整合 ,  剛性 ,  *ジャイロスコープ ,  帯域幅 ,  自由度 ,  不整 ,  周波数 ,  雑音特性 ,  解析的解法

著者キーワード (6件)： MEMSジャイロスコープ ,  デュアル質量システム ,  精密静電同調 ,  製造欠陥 ,  非等弾性 ,  周波数分割

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 増幅 ,  質量 ,  ジャイロスコープ ,  構造欠陥 ,  補償