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J-GLOBAL ID：201802262322100106   整理番号：18A1265150

エッチング液の調整によるArrayMuraへの影響に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Effects of array Mura by adj ustment of etchant

著者 (8件)： Ji Xinyou (北京京東方光電科技有限公司,北京,100176) ,  Zhang Jiaxiang (北京京東方光電科技有限公司,北京,100176) ,  Wang Liang (北京京東方光電科技有限公司,北京,100176) ,  Zhang Jie (北京京東方光電科技有限公司,北京,100176) ,  Lu Kai (北京京東方光電科技有限公司,北京,100176) ,  Huang Dongsheng (北京京東方光電科技有限公司,北京,100176) ,  Chen Si (北京京東方光電科技有限公司,北京,100176) ,  Wang Wei (北京京東方光電科技有限公司,北京,100176)
資料名： Yejing yu Xianshi  (Yejing yu Xianshi)
巻： 33  号： 2  ページ： 138-143  発行年： 2018年 
JST資料番号： W1519A  ISSN： 1007-2780  CODEN： YYXIFY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 生産中に常温汚染(ArrayMura)が不良であり、TFTパネル配線細線化と低抵抗電極の要求に対して、純アルミニウム工芸は新型湿式エッチング液の対応を切る必要がある。現在、本文では、3種類の生産ラインでテストされたエッチング液を比較することで、ArrayMuraの生成は主に純アルミニウム工芸のトップ金属モリブデンのエッチング後収縮と関係があると結論づけた。トップ層の金属モリブデンの濃縮を制御する主な原因はエッチング液Cの硝酸濃度と添加剤の含有量に関連し、薬液を制御することにより、エッチング過程内の電気化学反応を制御する。エッチング液のCエッチング後の線幅、勾配角などの関連エッチングパラメータはすべて要求に満たし、現在すでに導入量の生産が使用されている。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エッチング ,  電気化学反応 ,  パネル ,  ウェットエッチング ,  *エッチング液 ,  細線化 ,  モリブデン ,  硝酸 ,  配線 ,  生産ライン
準シソーラス用語： 線幅 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： room temperature stain ,  Mo shrink ,  etchant

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： エッチング液 ,  研究