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J-GLOBAL ID：201802262717396774   整理番号：18A0589320

MEMSジャイロスコープのマイクロプロセシング【Powered by NICT】

Microprocessing of MEMS gyroscopes

著者 (2件)： Dolgovykh Lyudmila I. (National Research University of Electronic Technology, MIET, Zelenograd, Moscow, Russia) ,  Evstafyev Sergey S. (National Research University of Electronic Technology, MIET, Zelenograd, Moscow, Russia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： ELCONRUS  ページ： 1604-1608  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 材料マイクロプロセシングへのレーザ光の応用は,科学と技術の種々の分野で広く使用されている。レーザ放射に対する曝露を用いたMEMSジャイロスコープの要素のバランスをとることの可能性を検討した。シリコンのレーザ改質のパラメータを検討した結果。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： レーザビーム ,  ケイ素 ,  *レーザ
準シソーラス用語： *MEMSジャイロスコープ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMSジャイロスコープ ,  プロセシング