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J-GLOBAL ID：201802263109548652   整理番号：18A0825071

厳しい環境のためのSi<B,Ni>微結晶に基づく多機能センサ【JST・京大機械翻訳】

Multifunctional sensors based on Si < B, Ni > microcrystals for Harsh environment

著者 (5件)： Druzhinin Anatoly (Lviv Polytechnic National University Lviv, Ukraine) ,  Ostrovskii Igor (Lviv Polytechnic National University Lviv, Ukraine) ,  Khoverko Yuriy (Lviv Polytechnic National University Lviv, Ukraine) ,  Kutrakov Oleksiy (Department of semiconductor electronics, Lviv Polytechnic National University, Lviv, Ukraine) ,  Yatsukhnenko Serhii (Department of semiconductor electronics, Lviv Polytechnic National University, Lviv, Ukraine)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： TCSET  ページ： 399-404  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 結晶表面上に形成されたニッケル層を持つシリコン中の金属-絶縁体転移,及び100K以下の温度モードによるスピンフィルタの構築に対応する,5~18cm-3の濃度のシリコンの微結晶を用いて,抵抗原理をもつ磁場センサの高感度素子を提案した。この方法は,結晶表面上に形成されたニッケル層をもつシリコンの金属-絶縁体転移に対応する。磁場-温度センサの高感度元素を,抵抗(TCR)=20%K-1の温度係数を持つ感熱素子を用いて,低温で動作する微結晶Si<B,Ni>に基づいて作製した。4.2Kの温度でK=165の歪敏感素子を持つ磁場-変形センサの高感度素子を開発した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 温度センサ ,  金属-絶縁体転移 ,  *センサ ,  磁気センサ ,  温度係数 ,  高感度 ,  磁場 ,  *ケイ素 ,  *微結晶 ,  低温
準シソーラス用語： スピンフィルタ ,  結晶表面 ,  *多機能 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 金属-絶縁体転移  (BM02110T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 環境 ,  Si ,  微結晶 ,  多機能