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J-GLOBAL ID：201802263340511584   整理番号：18A1591525

エアロゾル堆積によるナノ結晶二酸化チタン膜の圧縮応力【JST・京大機械翻訳】

Compressive stress in nano-crystalline titanium dioxide films by aerosol deposition

著者 (2件)： Adamczyk Jesse (Materials & Metallurgical Engineering Department, New Mexico Institute of Mining and Technology, 801 Leroy Place, Socorro, NM 87801, USA) ,  Fuierer Paul (Materials & Metallurgical Engineering Department, New Mexico Institute of Mining and Technology, 801 Leroy Place, Socorro, NM 87801, USA)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 350  ページ： 542-549  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エーロゾル堆積は,高密度セラミック膜または室温での被覆を生成するための運動エネルギー,粒子衝突プロセスであり,その結果,高い残留圧縮応力をもたらす。本研究の目的は,二酸化チタン,TiO_2,膜における応力とその厚さ依存性を決定することであった。エーロゾル堆積を用いてガラス基板上に1~22μm厚さの膜を作製した。走査干渉光プロファイラを用いて表面マップを作成し,堆積前後の基板の曲率値を測定した。Stoney方程式を用いて,測定した厚さと曲率半径から平均膜応力を計算した。基板形状の影響も,蒸着実験において正方形とビーム基板を用いて調べた。蒸着後の正方形とビーム基板の表面マップは,膜厚が増加すると球状曲率に向かって増加する傾向を示した。正方形試料で測定した平均(圧縮)応力は0.37GPaであったが,梁の平均値は0.52GPaであった。梁形状の試料データは曲率と膜厚の間に良好な直線性を示し,単純なStoney式に適合することにより,0.50GPaの固有応力値が得られた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エアロゾル ,  走査 ,  曲率 ,  セラミック膜 ,  膜厚 ,  運動エネルギー ,  蒸着 ,  線形性 ,  *ナノ結晶 ,  基板 ,  形態 ,  *圧縮応力
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  厚み依存性 ,  *二酸化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： エアロゾル沈着 ,  二酸化チタン ,  ナノ結晶 ,  厚膜 ,  固有応力 ,  形状計測

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： エアロゾル ,  堆積 ,  ナノ結晶 ,  酸化チタン膜 ,  圧縮応力