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J-GLOBAL ID：201802263461465450   整理番号：18A0401935

450°C下の温度でのアクチュエータアレイのための圧電PZT薄膜の作製のための熱UV処理を用いた溶液ベースプロセス【Powered by NICT】

Solution-based process with thermal UV treatment for fabrication of piezoelectric PZT films for an actuator array at temperatures under 450°C

著者 (5件)： Shimura Reijiro (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa, 923-1292, Japan) ,  Tue Phan Trong (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa, 923-1292, Japan) ,  Tagashira Yuki (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa, 923-1292, Japan) ,  Shimoda Tatsuya (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa, 923-1292, Japan) ,  Takamura Yuzuru (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology, 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa, 923-1292, Japan)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 267  ページ： 287-292  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低温ゾル-ゲル法によるジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)膜とアクチュエータの作製,熱的紫外/オゾン(UV/O_3)処理を導入することにより達成について報告した。スピンコートしたPZTゲル膜は,周囲O_3における加熱段階(200°C)にUV光を照射した,結晶化前にした。熱UV/O_3治療はPZTゲル膜,パイロクロア相の形成を阻害する内の還元性環境を作成し,450°Cでのアニーリング後にペロブスカイト相の直接形成をもたらす低温加工したPZT膜は(111)優先配向を示した。この作製法を用いたPZT膜得の残留分極,抗電場,及び漏れ電流は,23.6μC/cm~2,109.6kV/cm,10~ 6cm~2であった。も低温加工したPZT膜を用いたアクチュエータを作製した。最大変位は10Vで約130nmであり,これはシミュレーション結果の予測に近かった。提案したプロセスは他のシステムとPZT膜の統合のための大きな可能性を示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 紫外線 ,  焼なまし ,  還元環境 ,  スピンコーティング ,  残留分極 ,  *圧電気 ,  抗電場 ,  優先配向 ,  低温 ,  漏れ電流 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *アクチュエータ ,  ゲル
準シソーラス用語： 低温加工 ,  ペロブスカイト型構造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： PZT ,  溶液プロセス ,  低温度 ,  アクチュエータ ,  UV/Oは_3

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (8件)： アクチュエータ ,  アレイ ,  圧電 ,  PZT ,  薄膜 ,  作製 ,  溶液 ,  プロセス