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J-GLOBAL ID：201802263493829695   整理番号：18A1796386

マイクロ熱検知センサを利用したエンコーダに関する研究

著者 (5件)： 清水裕樹 (東北大) ,  松野優紀 (東北大) ,  石田彩華 (東北大) ,  松隈啓 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2018  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.D02-5  発行年： 2018年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *位置決め装置 ,  変位 ,  センサ ,  レーザビーム ,  干渉計 ,  位置センサ ,  測長機 ,  薄膜抵抗器 ,  表面欠陥 ,  *符号器
準シソーラス用語： リニアエンコーダ ,  *熱センサ

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (6件)：

• W. Gao et al: Annals of the CIRP, 58, 1 (2009) 451-454.
• X. Li et al.: Precis. Eng., 37, 3 (2013) 771-781.
• Y. Shimizu et al.: Sens. Actuator A, 201 (2013) 395-406.
• R. Sawada et al.: Proc. IEEE MEMS-91 Workshop, (1991) 233.
• Y. Shimizu et al.: Nanomanufacturing and Metrology, 1, 2, (2018) 45-57.

タイトルに関連する用語 (3件)： 検知センサ ,  エンコーダ ,  研究