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J-GLOBAL ID：201802263502900481   整理番号：18A0006822

垂直磁気異方性を有するナノグラニュラー軟磁性膜の高周波デバイスへの応用展開

著者 (2件)： 青木(木嶌)英恵 (東北大 学際科学フロンティア研) ,  増本博 (東北大 学際科学フロンティア研)
資料名： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
巻： 63  号： 1  ページ： 36-41  発行年： 2018年01月01日 
JST資料番号： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノグラニュラー軟磁性薄膜の作製方法と特長について説明した後,高周波素子への応用展開について紹介した。CoやFeなどの磁性金属と酸化物や窒化物マトリックスをスパッタ蒸着することによって,熱的性質の大きな違いから3~5nmの磁性金属ナノ粒子の均一分散膜が得られる。Co/AlN膜によるノイズフィルタやCo/SiO₂膜による薄膜インダクタについて紹介した。

シソーラス用語： *磁性薄膜 ,  ナノ粒子 ,  軟磁性材料 ,  複合膜 ,  金属 ,  マトリックス【母体】 ,  蒸着膜 ,  スパッタ蒸着 ,  HF【周波数】 ,  濾波器 ,  薄膜インダクタ
準シソーラス用語： 磁性金属

分類 (2件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 垂直磁気異方性 ,  軟磁性膜 ,  高周波 ,  応用 ,  展開