文献

J-GLOBAL ID：201802263581140958   整理番号：18A0129403

ピコ秒レーザの単一パルスアブレーションによるポリイミドの表面微細構造と化学【Powered by NICT】

Surface microstructure and chemistry of polyimide by single pulse ablation of picosecond laser

著者 (4件)： Du Qifeng (Functional Laboratory of Laser and Terahertz Technology, Wuhan National Laboratory for Optoelectronic, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, PR China) ,  Chen Ting (Functional Laboratory of Laser and Terahertz Technology, Wuhan National Laboratory for Optoelectronic, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, PR China) ,  Liu Jianguo (Functional Laboratory of Laser and Terahertz Technology, Wuhan National Laboratory for Optoelectronic, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, PR China) ,  Zeng Xiaoyan (Functional Laboratory of Laser and Terahertz Technology, Wuhan National Laboratory for Optoelectronic, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, PR China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 434  ページ： 588-595  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリイミド(PI)表面はピコ秒レーザの単一パルスでアブレートし,レーザ波長(355nmと1064nm)の効果と表面微細構造及び化学特性に及ぼすフルエンスを調べた。走査電子顕微鏡(SEM)分析は,同心環の凹面および多孔質円板の凸,異なる表面微細構造は355nmと1064nmのピコ秒レーザアブレーションによって生成したことを見出した。X線光電子分光法(XPS)キャラクタリゼーションはピコ秒レーザの高ピークエネルギー密度のために,環境からの酸素と窒素がCOとCNC基の形で主にPI表面に取り込まれたことを示した。,O/CおよびN/C原子含有量比の両方が増加したが,1064nm波長レーザによる増加は大きかった。PI表面微細構造と化学の異なるレーザパラメータの差は異なるレーザ-物質相互作用効果に関連していることを推論した。355nmピコ秒レーザでは,著明な熱特性は観察されず,PIのアブレーション過程は主に光化学効果によって支配されていた;1064nmピコ秒レーザが,著明な熱特徴が出現し,光熱効果が支配的であると考えられた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： X線光電子スペクトル ,  レーザアブレーション ,  *ピコ秒 ,  エネルギー密度 ,  *レーザ ,  フルエンス ,  多孔性 ,  走査電子顕微鏡 ,  *パルス ,  X線光電子分光法 ,  波長 ,  熱特性 ,  キャラクタリゼーション ,  *ポリイミド
準シソーラス用語： 光熱効果 ,  *ピコ秒レーザ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ポリイミド ,  ピコ秒レーザ ,  Ablation ,  Microstructure ,  化学

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： ピコ秒レーザ ,  パルス ,  アブレーション ,  ポリイミド ,  表面微細構造 ,  化学