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J-GLOBAL ID：201802263635430201   整理番号：18A0371059

高精密研削加工の技術動向-高能率・高品位加工のポイント 硬質単結晶ウエハの研削加工の基礎

著者 (1件)： ZHOU Libo (茨城大 工)
資料名： 機械技術  (Mechanical Engineering)
巻： 66  号： 3  ページ： 22-27  発行年： 2018年03月01日 
JST資料番号： F0145A  ISSN： 0451-9396  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・電子デバイスで使用される硬質物質,特に単結晶ウェハの研削加工の基礎。
・ロータリー型インフィード平面研削による加工の機構。
・砥粒の軌跡と密度。
・静的および動的モデル。
・研削機構と研削抵抗。

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  単結晶 ,  *硬質材料 ,  *研削 ,  モデリング ,  機構 ,  抵抗 ,  研削抵抗

分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 精密研削加工 ,  技術動向 ,  高能率 ,  高品位加工 ,  ポイント ,  硬質 ,  単結晶ウエハ ,  研削加工 ,  基礎