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J-GLOBAL ID：201802263671207144   整理番号：18A0401908

高周波電力応用のためのNi-Fe-Wコアマイクロ変圧器の製作と特性評価【Powered by NICT】

Fabrication and characterization of a Ni-Fe-W core microtransformer for high-Frequency power applications

著者 (4件)： Mundotiya Brij Mohan (Institut fuer Mikroproduktionstechnik, Leibniz Universitaet Hannover, An der Universitaet 2, 30823, Garbsen, Germany) ,  Dinulovic Dragan (Wuerth Elektronik eiSos GmbH Co. KG, Parking 29, 85748, Garching, Germany) ,  Rissing Lutz (Institut fuer Mikroproduktionstechnik, Leibniz Universitaet Hannover, An der Universitaet 2, 30823, Garbsen, Germany) ,  Wurz Marc Christopher (Institut fuer Mikroproduktionstechnik, Leibniz Universitaet Hannover, An der Universitaet 2, 30823, Garbsen, Germany)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 267  ページ： 42-47  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,電気めっきとフォトリソグラフィ技術を用いた高周波電力用マイクロ変圧器デバイスの製作と特性評価について報告した。これらのデバイスは,酸化シリコンウエハ上に実現した。一次に同じ形状と二次側6μmのコアの厚さ値と組み合わせた。デバイスは六つのコイル(一次側に三コイルと2次側に三コイル)で構成されており,コイルは九数ターンであった。銅コイル巻線とNi-Fe-W合金磁気コアは,電気メッキにより作製した。作製したマイクロ変圧器は25nH74nHの範囲のインダクタンスを有する。4.5の最適品質係数は70MHzで得られた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 磁心 ,  *キャラクタリゼーション ,  フォトリソグラフィー ,  電気めっき ,  *変圧器 ,  酸化ケイ素 ,  銅 ,  インダクタンス ,  合金
準シソーラス用語： 品質係数 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 電気めっき ,  Inductance ,  フォトリソグラフィー ,  マイクロ変圧器 ,  品質因子

分類 (4件)： 医療用機器装置  (GA05020L) ,  磁気の計測法・機器  (AD07060U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (8件)： 高周波電力 ,  応用 ,  Ni ,  Fe ,  コア ,  変圧器 ,  製作 ,  特性評価