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J-GLOBAL ID：201802263896924382   整理番号：18A0458273

サブ1mGのMEMS加速度センサのための0.18μm CMOS時間領域容量-センサインタフェイス

A 0.18-μm CMOS time-domain capacitive-sensor interface for sub-1mG MEMS accelerometers

著者 (9件)： Takayasu Motohiro (Tokyo Institute of Technology) ,  Dosho Shiro (Tokyo Institute of Technology) ,  Ito Hiroyuki (Tokyo Institute of Technology) ,  Yamane Daisuke (Tokyo Institute of Technology) ,  Konishi Toshifumi (Tokyo Institute of Technology) ,  Konishi Toshifumi (NTT Advanced Technology Co.) ,  Machida Katsuyuki (Tokyo Institute of Technology) ,  Ishihara Noboru (Tokyo Institute of Technology) ,  Masu Kazuya (Tokyo Institute of Technology)
資料名： IEICE Electronics Express (Web)  (IEICE Electronics Express (Web))
巻： 15  号： 2  ページ： 20171227(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0039A  ISSN： 1349-2543  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,サブ1mGのMEMS加速度センサのための高分解能容量-センサインタフェイスを提案した。高分解能を実現するために,低雑音の弛張発振器に基づく時間領域容量-センサインタフェイスを提案した。0.18μm CMOSプロセスを使用してプロトタイプインタフェイスを製造した。このプロトタイプをサブ1mGのMEMS加速度センサに接続し・実験的に性能を調査した。結果により,提案インタフェイスが信号対雑音比90.3dBでサブ1mGの加速度を検出できることを確認した(帯域幅12Hzにおいて加速雑音レベル9.0μG/<span style=text-decoration:overline>√H</span>z)。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *加速度計 ,  CMOS ,  弛張発振 ,  信号特性 ,  *MEMS加速度センサ ,  時間領域
準シソーラス用語： 弛張発振器

著者キーワード (6件)： time domain ,  capacitive-sensor interface ,  relaxation oscillator ,  sub-1mG ,  microelectromechanical systems (MEMS) ,  accelerometer

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

引用文献 (21件)：

• [1] N. Barbour and G. Schmidt: “Inertial sensor technology trends,” IEEE Sensors J. 1 (2001) 332 (DOI: 10.1109/7361.983473).
• [2] N. Yazdiet al.: “Micromachined inertial sensors,” Proc. IEEE 86 (1998) 1640 (DOI: 10.1109/5.704269).
• [3] G. Krishnanet al.: “Micromachined high-resolution accelerometers,” J. Indian Inst. Sci. 87 (2007) 333.
• [4] V. Biefeld, et al.: “Implantable low-g accelerometer for the telemetric monitoring of micro-movements in fracture zones,” Proc. 1st Annu. Int. IEEE-EMBS Special Topic Conf. Microtechnologies in Medicine and Biology (2000) 497 (DOI: 10.1109/MMB.2000.893834).
• [5] B. E. Boser and R. T. Howe: “Surface micromachined accelerometers,” IEEE J. Solid-State Circuits 31 (1996) 366 (DOI: 10.1109/4.494198).

タイトルに関連する用語 (5件)： サブ ,  MEMS加速度センサ ,  CMOS ,  時間領域 ,  センサインタフェイス