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J-GLOBAL ID:201802264065181345   整理番号:18A1671375

電磁アクチュエータとトグル機構を用いた高速・高分解能インチワーム

著者 (4件):
資料名:
巻: 66th  ページ: ROMBUNNO.212  発行年: 2017年03月14日 
JST資料番号: L0013B  ISSN: 2424-2748  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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微小なストロークを持つアクチュエータで駆動されるインチワーム機構は,大きな可動範囲と高分解能を合わせ持つため位置決め装置で有用である。従来は圧電素子等の微小変位アクチュエータを用いてきたが,高電圧アンプが必要になるという点や速度の面で問題が有る。本研究では,低電圧なアンプでの駆動が可能な電磁石と,変位縮小率が変えられるトグル機構を用いて,高速化と高分解能化を達成することを目的としている。本報では試作したインチワーム機構の性能を調査した結果について報告する。(著者抄録)
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分類 (4件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  工作機械要素,ジグ,チャック  ,  サーボ機構  ,  システム設計・解析 
タイトルに関連する用語 (4件):
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