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J-GLOBAL ID：201802264316919028   整理番号：18A0934085

NH_4F添加HNO_3処理アンモニウムメタバナジウム酸塩前駆体溶液から堆積した酸化バナジウム膜の特性の噴霧熱分解法による改質【JST・京大機械翻訳】

Modification on the properties of vanadium oxide films deposited from NH₄F added HNO₃ treated ammonium metavanadate precursor solution by spray pyrolysis technique

著者 (5件)： Margoni Mudaliar Mahesh (Crystal Growth and Thin Film Laboratory, Department of Physics and Nanotechnology, Faculty of Engineering and Technology, SRM University, Kattankulathur 603 203, Kancheepuram Dt., Tamil Nadu, India) ,  Mathuri S. (Crystal Growth and Thin Film Laboratory, Department of Physics and Nanotechnology, Faculty of Engineering and Technology, SRM University, Kattankulathur 603 203, Kancheepuram Dt., Tamil Nadu, India) ,  Ramamurthi K. (Crystal Growth and Thin Film Laboratory, Department of Physics and Nanotechnology, Faculty of Engineering and Technology, SRM University, Kattankulathur 603 203, Kancheepuram Dt., Tamil Nadu, India) ,  Ramesh Babu R. (Crystal Growth and Thin Film Laboratory, School of Physics, Bharathidasan University, Tiruchirappalli 620024, Tamil Nadu, India) ,  Sethuraman K. (School of Physics, Madurai Kamaraj University, Madurai 625 021, Tamil Nadu, India)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 655  ページ： 62-69  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 純およびFドープ酸化バナジウム薄膜を,硝酸処理したメタバナジウム酸アンモニウム(NTA)水溶液およびフッ化アンモニウムを添加したNTA前駆体溶液を用いた噴霧熱分解法により,400°Cでマイクロスライドガラス基板上に堆積した。X線回折研究は,蒸着膜が酸化バナジウム(V_2O_5,β-V_2O_5,VO_2およびV_4O_7)の混合相にあり,一方,V_2O_5相は(001)面に沿って優先成長を示すことを示した。500~800nm範囲で評価した酸化バナジウム膜の平均可視透過率は,20wt%フッ化アンモニウム添加NTA前駆体溶液に対して~73%から82%に増加した。酸化バナジウム膜で最大透過率が生じた波長は,低波長側にシフトし,酸化バナジウム膜のバンドギャップは,NTA溶液中のフッ化アンモニウムの添加によりわずかに変化した。酸化バナジウム膜の表面形態は,NTA前駆体溶液中の種々の濃度のフッ化アンモニウムの添加により影響を受けた。15wt%のフッ化アンモニウムを添加したNTA前駆体溶液から堆積した膜は,キャリア濃度,移動度および伝導率がそれぞれ8.6×10~13cm~3,30.1cm~2V~-1s~-1および4.1×10~4Ω~-1cm-1であり,他の報告と比較して比較的高かった。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： キャリア密度 ,  水溶液 ,  透過率 ,  バンドギャップ ,  *バナジウム酸塩 ,  ドーピング ,  蒸着膜 ,  *前駆体 ,  フッ化アンモニウム ,  *酸化バナジウム ,  硝酸 ,  移動度
準シソーラス用語： 表面形態 ,  ガラス基板 ,  *噴霧熱分解法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 薄膜 ,  酸化バナジウム ,  噴霧熱分解技術 ,  構造特性 ,  光学的性質 ,  電気的性質

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： アンモニウム ,  バナジウム酸塩 ,  前駆体 ,  溶液 ,  堆積 ,  酸化バナジウム ,  噴霧熱分解法 ,  改質