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J-GLOBAL ID：201802264489148419   整理番号：18A0439059

PVDF-TrFEを用いたマイクロポンプ応用のための圧電膜アクチュエータ【Powered by NICT】

Piezoelectric Membrane Actuators for Micropump Applications Using PVDF-TrFE

著者 (3件)： Akin Yildirim Yagmur (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Miami, Coral Gables, FL, USA) ,  Toprak Alperen (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Miami, Coral Gables, FL, USA) ,  Tigli Onur (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Miami, Coral Gables, FL, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 27  号： 1  ページ： 86-94  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリフッ化ビニリデンフルオリド-トリフルオロエチレン(PVDF TrFE)を用いた生体適合性圧電膜アクチュエータ(PMA)の設計,作製,及び性能評価を提示した。電極構造最適化は,有限要素法シミュレーションソフトウェアによって検証した。作製は標準的な微細加工技術を利用して行った。1μm厚膜と1.5μm厚アクチュエータ層はPVDF-TrFEを用いたスピンコーティングにより形成された。作製した膜の表面粗さは卓上型原子間力顕微鏡(A FM)を用いた7.9nmとして測定し,200Vで残留分極は5.38μC/cm~2として測定した。精密ナノ変位システムを用いたAl被覆チップレスA FMプローブ,強誘電試験機,テーブルトップA FM,コンピュータから成るを用いて行ったたわみ測定。432nm変位は直径2250μmのPMAから非共鳴条件下で9Vで得られた。全可動構造は高分子材料から作製したので,破壊することなく得ることができた高変位。結果は,提案したPMAは膜型マイクロポンプのための良好な候補であることを示した,特に生物医学的応用に用いられる,低駆動電圧と生体適合性が要求される。[2017 0128]Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： プローブ ,  *アクチュエータ ,  フッ化物 ,  厚膜 ,  構造最適化 ,  *マイクロポンプ ,  性能評価 ,  原子間力顕微鏡 ,  試験装置 ,  生体適合性 ,  残留分極 ,  スピンコーティング
準シソーラス用語： 駆動電圧 ,  高分子材料 ,  *ピエゾフィルム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロポンプ ,  応用 ,  圧電膜 ,  アクチュエータ