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J-GLOBAL ID：201802264709272545   整理番号：18A0815474

加熱基板上の熱蒸発により堆積したアルミニウムナノ粒子の形態学的および光学的性質【JST・京大機械翻訳】

Morphological and optical properties of aluminum nanoparticles deposited by thermal evaporation on heated substrates

著者 (5件)： Lachebi Ines (USTHB, Faculte de Physique, Laboratoire de physique des materiaux, Equipe Couches Minces et Semiconducteurs, B.P. 32, El Alia, 16111 Bab-ezzouar, Algers, Algeria) ,  Fedala Abdelkrim (USTHB, Faculte de Physique, Laboratoire de physique des materiaux, Equipe Couches Minces et Semiconducteurs, B.P. 32, El Alia, 16111 Bab-ezzouar, Algers, Algeria) ,  Djenizian Thierry (IMT Mines Saint-Etienne, Center of Microelectronics in Provence, Department of Flexible Electronics, F-13541 Gardanne, France.) ,  Hadjersi Toufik (Research Center of Semiconductor Technology for Energy-2, Bd Frantz Fanon, BP 140, Alger 7 Merveilles 16038, Algers, Algeria) ,  Kechouane Mohamed (USTHB, Faculte de Physique, Laboratoire de physique des materiaux, Equipe Couches Minces et Semiconducteurs, B.P. 32, El Alia, 16111 Bab-ezzouar, Algers, Algeria)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 343  ページ： 160-165  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,アルミニウムnanoparticles(アール-NPsを,シリコン(100)とコーニングガラス上への堆積後に追加のアニーリング過程なしに加熱基板上に熱蒸着により堆積した。それらの形態的および光学的性質を走査電子顕微鏡(SEM),原子間力顕微鏡(AFM)および光透過技術により調べた。基板温度を200~580°C,質量厚さを4~23nmに変えた。Al-NPsは,1段階で15nmの質量厚さの全ての堆積温度で良く形成された。Al-NPの平均直径は堆積温度が200から500°Cに上昇すると50から91nmに上昇し,500-580°Cの範囲ではほとんど変化しない。質量厚さが400°Cの堆積温度で4から23nmに増加すると,NPサイズは15から135nmに増加した。NPは形状が不規則になり,それらの被覆密度は強く増加した。いくつかの条件下で,Al-NPは近紫外領域で広い吸収を示した。これは局所化表面プラズモン共鳴(LSPRs)吸収に起因する。堆積温度とアルミニウム質量厚さはAl-NPsサイズを制御するための重要なパラメータである。得られた結果に基づいて,超薄膜アルミニウムを加熱基板上に堆積させたとき,NPの形成機構を提案した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プラズモン ,  基板温度 ,  近紫外線 ,  超薄膜 ,  真空蒸着 ,  光透過 ,  *蒸発 ,  *アルミニウム ,  *モルフォロジー ,  走査電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  焼なまし ,  *光学的性質
準シソーラス用語： 形成機構 ,  局在化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： アルミニウムナノ粒子 ,  熱蒸発 ,  プラズモン ,  ナノ粒子形成

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 蒸発 ,  堆積 ,  アルミニウム ,  ナノ粒子 ,  形態学 ,  光学的性質