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J-GLOBAL ID：201802264898593673   整理番号：18A0632162

RF窒素プラズマ支援MBE成長によるダイヤモンド(111)基板上のAlN薄膜の質とバンドオフセット

著者 (8件)： 河野省三 (早稲田大) ,  蔭浦泰資 (早稲田大 理工) ,  梶家美貴 (早稲田大 理工) ,  加藤かなみ (早稲田大 理工) ,  BUENDIA Jorge J. (早稲田大 理工) ,  河合空 (早稲田大 理工) ,  川原田洋 (早稲田大) ,  川原田洋 (早稲田大 理工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 65th  ページ： ROMBUNNO.18p-F206-4  発行年： 2018年03月05日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： プラズマ ,  窒素 ,  *MBE成長 ,  ダイヤモンド ,  基板 ,  *窒化アルミニウム ,  *薄膜 ,  バンドオフセット ,  鉱石 ,  宝石

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (8件)： RF ,  窒素 ,  プラズマ支援MBE成長 ,  ダイヤモンド ,  AlN ,  薄膜 ,  質 ,  バンドオフセット