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J-GLOBAL ID:201802265107547208   整理番号:18A0134411

原子層堆積により堆積した非晶質亜鉛スズ酸化物薄膜のバンド構造【Powered by NICT】

Band structure of amorphous zinc tin oxide thin films deposited by atomic layer deposition
著者 (5件):
資料名:
巻: 58  ページ: 328-333  発行年: 2018年 
JST資料番号: W3170A  ISSN: 1226-086X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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最近,酸化亜鉛スズ(ZTO)は光起電力電池のためのCdSに取って代りに替わるバッファ層として注目されている。ZTO薄膜はジエチル亜鉛, テトラキス(ジメチルアミド)スズからの原子層堆積,と水により成長させた。組成,構造および光学的性質を特性化Sn含有量に依存してZTO膜のバンド図を構築した。ZTO膜はCdSのそれよりも広い2.95 3 0.07eVの光学バンドギャップを示した。さらに,それらの仕事関数も4.32 5 0.16eVの広い範囲で変化することを観察した。酸素空格子点の形成に強く影響するZTOへのSnの混入に起因する。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 
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