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J-GLOBAL ID：201802265182937799   整理番号：18A2028288

MEMS共振器による新しいボロメータTHz検出【JST・京大機械翻訳】

Novel bolometric THz detection by MEMS resonators

著者 (4件)： Zhang Ya (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo, 153-8505, Japan) ,  Hosono Suguru (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo, 153-8505, Japan) ,  Nagai Naomi (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo, 153-8505, Japan) ,  Hirakawa Kazuhiko (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo, 153-8505, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： IRMMW-THz  ページ： 1-2  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高感度サーミスタとして二重クランプGaAs MEMSビーム共振器を用いることにより,非冷却,高感度,高速THzボロメータを開発した。その超高温感度により,現在のボロメータは,高感度だけでなく,数kHzの動作帯域幅を達成し,他の非冷却THz熱センサよりも約100倍高速である。得られた電気雑音等価電力(NEP)は,熱ゆらぎ雑音により設定された限界に近い,約20pW/√Hzと低い。MEMSボロメータは標準的な半導体製造プロセスにより作製され,THzカメラを実現するための検出器アレイの作製に適している。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 検出器 ,  高速度 ,  センサ ,  *共振器 ,  クランプ ,  帯域幅 ,  高感度 ,  超高温 ,  雑音 ,  サーミスタ ,  *MEMS ,  カメラ ,  *ボロメータ ,  半導体プロセス ,  ヒ化ガリウム

分類 (3件)： 医用画像処理  (JE04020T) ,  NMR一般  (BM07041R) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMS共振器 ,  ボロメータ