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J-GLOBAL ID:201802265875600223   整理番号:18A0801620

アニーリング温度と持続時間の制御によるc面GaN上の自己集合Agナノ構造の形態と光学的性質に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Investigation on the morphology and optical properties of self-assembled Ag Nanostructures on c-plane GaN by the control of annealing temperature and duration
著者 (7件):
資料名:
巻: 15  ページ: 28-39  発行年: 2018年 
JST資料番号: W3061A  ISSN: 2352-507X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,c面GaN上の自己組織化Agナノ構造(NS)の系統的制御を,固体-状態-脱濡れに基づく多様なAg膜厚でのアニーリング温度(AT)とアニーリング時間(AD)の制御により実証した。Ag NSは,(i)ナノボイドおよび(ii)ナノクラスタ(iii)ナノ粒子(NP)および(iv)昇華を伴うナノ粒子(NP)および(iv)NPsのような10nmの初期膜厚を持つサイズ,密度および配置に関して,4つの明確な成長領域において進化する。しかし,3つの成長領域のみが,脱ぬれと拡散の抑制により,バリアントNSs形態を持つ40nmセットで観察された。一方,30nmのAg膜によるAD制御に基づいて,Ag NSのサイズは,Ag原子の広範な昇華により,RMS粗さ(Rq)と表面積比(SAR)に関して指数関数的に減少した。種々のAg NSの形成を,いくつかの拡散条件とAg昇華の影響下でのVolmer-Weber成長モデルに基づいて議論した。Ag NSの光学的性質を反射率,Raman及び光ルミネセンスにより研究し,ピーク強度及びシフトを含むスペクトル発展をAg NSの形態変化に関する特異的プラズモン共鳴吸収バンド表面張力歪の観点から論じた。特異的に,双極子共鳴ピークは明らかにAg NSの発展に依存するシフトを示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (3件):
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金属薄膜  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  固-液界面 

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